Op maat gemaakte gesmolten kwarts vacuümzuigplaat voor het hanteren van halfgeleiderwafels

Op maat gemaakte gesmolten kwarts vacuümzuigplaat voor het hanteren van halfgeleiderwafels

De op maat gemaakte gesmolten kwartsvacuümzuigplaat, ook bekend als een kwartsvacuumschuck, kwartszuigplaat of kwartswaferhouder, wordt gebruikt om te ondersteunen, te positioneren, te verplaatsen of te verplaatsen.en wafers of precisie-substraten vasthouden door middel van gecontroleerde vacuümadsorptie.

Het onderdeel is vervaardigd van hoogzuiver gesmolten kwarts en combineert lage thermische expansie, uitstekende chemische weerstand, hoge temperatuurstabiliteit en een laag verontreinigingspotentieel.Het is geschikt voor halfgeleiders, fotovoltaïsche, optische, laboratorium- en andere hoogzuivere verwerkingsomgevingen.

De plaat kan worden vervaardigd met aangepaste vacuümkanalen, centrale openingen, kwartsbuizen, poorten, gestapelde interfaces en gelaste verbindingsstructuren.Afmetingen en oppervlaktecondities worden geproduceerd volgens het ontwerp van de apparatuur en de operationele vereisten van de klant.

Belangrijkste kenmerken

Hoogzuiver gesmolten kwarts

Gemaakt van hoogwaardige gesmolten silica met lage metalen onzuiverheidsniveaus, waardoor verontreiniging tijdens waferhantering en substraatverwerking tot een minimum wordt beperkt.

Lage thermische expansie

De lage koëfficiënt van thermische uitbreiding helpt de plaat om dimensionale stabiliteit te behouden bij blootstelling aan temperatuurveranderingen.

Chemische weerstand

Gesmolten kwarts biedt uitstekende weerstand tegen veel zuren en proceschemische stoffen die worden gebruikt in halfgeleiders en laboratoriumomgevingen.en specifieke procesmediums apart moeten worden beoordeeld.

Gepersonaliseerde vacuümstructuur

Vacuümpoorten, centrale openingen, gasverbindingen, vloeistofoverbrengingspoorten, groeven en gelaste kwartsbuizen kunnen worden ontworpen volgens de uitleg van de apparatuur.

Precieze oppervlaktebewerking

Er zijn verschillende opties voor slijpen, mechanisch polijsten, vuurpolijsen, lappen en schoonmaken om aan de verschillende eisen aan vlakheid, afdichting, reinheid en oppervlakteconditie te voldoen.

Vervaardiging op basis van tekeningen

Elke kwartsvacuümzuigplaat kan worden vervaardigd op basis van een technische tekening, fysiek monster, apparatuurdimensies of toepassingsspecificaties.

Productspecificaties

Maximale afmetingen, haalbare toleranties, thermische omstandigheden, vacuümniveau en drukbeperkingen moeten worden beoordeeld op basis van het definitieve ontwerp en de bedrijfsomgeving.

Typische toepassingen

• apparatuur voor het verwerken van halfgeleiderwafers
• Vacuumaadsorptie en positionering van wafers
• Precision substraat alignment systemen
• met een vermogen van niet meer dan 50 W
• Wetbanken en apparatuur voor chemische verwerking
• Verwerking van zonnecellen en fotovoltaïsche wafers
• Glas- en optische substraatverwerking
• vacuümsystemen voor laboratoria
• Chemische apparatuur van hoge zuiverheid
• met een vermogen van niet meer dan 50 W

Opties voor aangepast ontwerp

De kwartsvacuümplaat kan worden aangepast met:

• Centrale doorlopende gaten of ingebouwde openingen
• Meerdere vacuümzuigpoorten
• Vacuümdistributiegroeven en -kanalen
• met een breedte van niet meer dan 50 mm
• rechthoekige, hoekige of trappige poorten
• met een vermogen van niet meer dan 10 W
• Aangepaste gatenpatronen
• Plaatselijk gepolijste of matte gebieden
• met een breedte van niet meer dan 50 mm
• Positioneringsgaten of uitlijningskenmerken
• Transparante, doorschijnende of matte oppervlakken

De geometrie van het vacuümkanaal en de verdeling van het zuiggat moeten worden ontworpen op basis van de grootte van de wafer, de dikte van het substraat, de vereiste houkracht en het toelaatbare contactgebied.

Vervaardigingscapaciteit

Wij leveren geïntegreerde kwartsfabricage diensten, waaronder:

• Vervaardiging van platen van gesmolten kwarts van grote diameter
• CNC-bewerking met hoge precisie
• Boringen en profielsnijden
• Machinerie voor het bewerken van vacuümgroef en -kanaal
• Quartsbuizen en -buizen lassen
• Vervaardiging uit flens van kwarts
• Oppervlakte slijpen, lappen en polijsten
• Kantenvorming en afronding
• Thermisch gloeien
• Ultrasone en zuivere reiniging
• Dimensionele en visuele inspectie

Complexe openingsopstellingen, gelaste poorten en op maat gemaakte verbindingsstructuren kunnen worden vervaardigd volgens gedetailleerde technische tekeningen.

Voordelen van gesmolten kwartsvacuümplaten

In vergelijking met conventionele metalen, kunststof of standaard glascomponenten biedt gesmolten kwarts verschillende voordelen voor een hoge zuiverheid:

• Laag risico op metaalverontreiniging
• Uitstekende thermische stabiliteit
• Laag coëfficiënt van thermische uitbreiding
• Goed bestand tegen veel proceschemische stoffen
• Geschikt voor cleanroom- en hoogzuivere toepassingen
• Transparante of doorschijnende constructie voor proceswaarneming
• Hoge dimensionale stabiliteit onder gecontroleerde bedrijfsomstandigheden
• Aanpasbare poorten, openingen, groeven en verbindingsstructuren

De geschiktheid van gesmolten kwarts moet worden bevestigd op basis van de vereiste mechanische belasting, het vacuümniveau, de thermische cyclusomstandigheden en de chemische omgeving.

Informatie die vereist is voor de offerte

Gelieve de volgende informatie te verstrekken voor technische evaluatie en offerte:

1. Algemene diameter of uiterlijke afmetingen
2. Dikte van de plaat
3. Centrale openingsdimensies
4. Hoeveelheid, diameter en positie van de vacuümpoorten
5. Vacuümgroef- of kanaalopstelling
6. Afmetingen van de aansluiting van de poort, buis of flenster
7. Verplichtingen inzake oppervlakteafwerking
8. Vlakte- en afmetingstoleranties
9. Werktemperatuur en thermische cyclusomstandigheden
10. Vacuümniveau of werkdruk
11. Verwerkingschemische stoffen of gassen in contact met het onderdeel
12. Vereiste hoeveelheid
13. Technische tekening, fysiek monster of foto van de apparatuur

Voor componenten die een nauwkeurige plaatsing van de poort, een vacuümkanaalgeometrie of nauwe toleranties vereisen, wordt een afmetingentekening aanbevolen.

Kwaliteitscontrole

Afhankelijk van de tekening en de toepassing kan elke kwartszuigplaat worden geïnspecteerd op:

• Algemene diameter en dikte
• Openings- en poortdimensies
• Precisie van de havenpositie
• Vlakheid en parallelisme
• Oppervlakteconditie
• Geometrie van de vacuümgroef
• Integriteit van de las
• Kwaliteit van de rand
• Scheuren, scheuren, krassen en andere gezichtsdefecten
• Schoonheid
• Verpakkingsbescherming

Elk onderdeel is individueel beschermd met schuim, film of een op maat gemaakte verpakking om het risico op krabben, botsing en breuk tijdens het vervoer te verminderen.

Veelgestelde vragen

1Kan de plaatdiameter en de positie van de vacuümpoort aangepast worden?

De diameter, de dikte, de openingsdimensies, het aantal poorten, de grootte van de poorten, de groefopstelling en de poortposities kunnen volgens uw tekening worden vervaardigd.

2Kun je de kwartszuigplaat maken van een fysiek monster?

Ja, we kunnen een onderdeel evalueren en reproduceren op basis van een fysiek monster, maar een gedimensioneerde technische tekening wordt aanbevolen wanneer precieze toleranties of poortposities vereist zijn.

3Kunnen vacuümgroefjes of -kanalen in de kwartsplaat worden gemachineerd?

Ja. Op maat gemaakte groeven, kanalen, ingebouwde gebieden en zuiggatpatronen kunnen worden bewerkt volgens de vereiste vacuümverdeling en het ontwerp van het substraatcontact.

4Welke oppervlakteafwerkingen zijn beschikbaar?

De beschikbare afwerkingen zijn onder andere gemalen, matte, gepolijste, mechanisch gepolijste en door vuur gepolijste oppervlakken.en schoonheid.

5Is gesmolten kwarts geschikt voor halfgeleiderapparatuur?

Gesmolten kwarts wordt veel gebruikt in halfgeleiderapparatuur vanwege zijn hoge zuiverheid, thermische stabiliteit, chemische duurzaamheid en lage metaalverontreiniging.

6Kunnen kwartsbuizen of aansluitpunten op de plaat worden gelast?

Kwartsbuizen, vacuümpoorten, verbindingen en flensstructuren kunnen op de plaat worden gelast, afhankelijk van het gas-, vacuüm- of vloeistofverbindingsontwerp.

7Kunt u een specifieke vlakte tolerantie garanderen?

De platte capaciteit is afhankelijk van de plaatdiameter, de dikte, de openingsopstelling, de gelaste structuren en de oppervlakteafwerking.

8Kan de plaat onder positieve druk worden gebruikt?

Het product is hoofdzakelijk bestemd voor de adsorptie en positionering van het vacuüm.en veiligheidsomstandigheden.