3inch 4inch 6Inch 900 NM gemeenschappelijke LT.ln dunne film y-42°

De dunne LiTaO3-films werden voorbereid door rotatiedeklaag van gepolymeriseerde sol-gel voorloperoplossing. De films zijn gedeponeerd op het substraat van het enig kristalsilicium, Ti/Pt of SiO2 met een laag bedekt siliciumsubstraat. De films werden gekenmerkt door x-ray diffractie, diëlektrische en pyroelectric Metingen. De hoge Curietemperatuur (boven 550 °C) werd verondersteld voor de films van LiTaO3 dun van de temperatuurafhankelijkheid van diëlektrische constante. Het vervangen van 35% van tantalium door titaniumatomen in is de LiTaO3-voorloperoplossing de dunne films met Curietemperatuur van 330 °C. voortgevloeid. De lagere Curietemperatuur leidt tot de grotere pyroelectric coëfficiënt bij ruimte-temperatuur, die is meer dan dubbel dat van undoped LiTaO3 films verdunt. De diëlektrische, pyroelectric, en ferroelectric eigenschappen zijn vergeleken bij het enige kristal LiTaO3 en ceramische Li0.91Ta0.73Ti0.36O3. LiTaO3 zijn de dunne films beschikbaar door sol-gel proces bij lage temperatuur, en hun eigenschappen kunnen misschien worden gecontroleerd door de samenstelling van de sol-gel voorloperoplossing te variëren.