Industriële 6H SiC-substraten voor hoge temperatuur-, UV- en precisie-elektronica
Productoverzicht
6H Silicon Carbide (SiC) substraten zijn hoogwaardige enkelkristallen wafers ontworpen voor hoge temperatuur, hoge spanning en gespecialiseerde opto-elektronica toepassingen.6H biedt een ander zeshoekig polytype met iets lagere elektronenmobiliteit maar uitstekende thermische stabiliteit, mechanische sterkte en kosteneffectiviteit voor niche toepassingen zoals UV-LED's, hoge-temperatuur sensoren en industriële elektronica.
![]()
![]()
Belangrijkste kenmerken
Hexagonale 6H kristalstructuur:Zorgt voor dimensionale stabiliteit en mechanische robuustheid tijdens de waferverwerking.
Elektrische eigenschappen:Gematigde elektronenmobiliteit geschikt voor apparaten met hoge temperatuur en hoge spanning; ondersteunt kleinere apparaatvoetafdrukken.
b. met een vermogen van meer dan 50 W/m2Efficiënte warmteafvoer in krachtimodules en moeilijke omgevingen.
Mechanische sterkte en chemische weerstand:Hoge hardheid en corrosiebestendigheid voor langdurige betrouwbaarheid.
Opties voor Epi-Ready-oppervlak:Compatibel met epitaxiale groei, inclusief waterstofverhitting en CMP-polijst.
Aanpasbare afmetingen en dikte:Verkrijgbaar in standaarddiameters of op maat gemaakt voor specifieke productiebehoeften.
Toepassingen
met een vermogen van niet meer dan 50 W
UV-LED's en gespecialiseerde opto-elektronica
Elektronica voor de lucht- en ruimtevaartindustrie en de automobielindustrie die aan extreme omstandigheden wordt blootgesteld
Industriële elektronica waarvoor compacte en robuuste onderdelen nodig zijn
Onderzoek en ontwikkeling in breedbandsemiconductoren
Technische specificaties (typisch en aanpasbaar)
| Parameter | Specificatie |
|---|---|
| Materiaal | Eenkristallig 6H SiC |
| Kristallenstructuur | Hexagonaal (6H) |
| Diameter / grootte | 25 mm (2 ′′), 50 mm (4 ′′), 100 mm (4 ′′), 150 mm (6 ′′), 200 mm (8 ′′), 300 mm (12 ′′); vierkante of op maat gemaakte afmetingen beschikbaar |
| Dikte | 350 ‰ 1.000 μm (aanpasbaar) |
| Oppervlakte afwerking | Epi-ready CMP, dubbelzijdig gepolijst (DSP), eenzijdig gepolijst (SSP) |
| Totale dikte variatie (TTV) | ≤ 5 μm typisch |
| Boog / warp | ≤ 40 μm (6′′ typisch) |
| Gewichtsverlies van de micropipe | < 0,1 cm−2 industrieel doel; premium kwaliteiten < 0,01 cm−2 |
| Verplaatsingsdichtheid | < 104 cm−2 (doel voor hoogspanningsopbrengst) |
| Leidingkracht | N-type (geleidend), semi-isolatieve (SI) opties |
| Epi-klaar | Ja ✓ compatibel met epitaxiale groei |
Voordelen van een vierkant substraat
Hoogtemperatuursensoren en UV-LED's:Vierkante substraten zorgen voor een precieze uitlijning van elektroden en pakketbases.
Industriële elektronica:Een compact ontwerp met een hoge integratie, waardoor de gapen tussen pakket en substraat worden verminderd.
RF- en microgolfcircuits (SI-optie):Verminderd signaalverlies voor hoogfrequente toepassingen.
Vervaardigingsproces
Poeder synthese: hoogzuivere SiC grondstof.
Zaden bevestigen: 6H zaad bevestigd in een groeiaampula.
Hoogtemperatuurgroei: Sublimatie bij 2300°C tot 2500°C vormt SiC-bol.
Snijding: Diamantdraadzaag snijdt wafers.
Polijst & inspectie: CMP- of diamantpolijst voor epi-klaar oppervlak; metrologie en analysecertificaat (CoA) verstrekt.
Belangrijkste toepassingen en gebruiksgevallen
Elektronica voor hoge temperaturen en industriële sensoren
UV-opto-elektronica
Lucht- en ruimtevaart- en defensie-elektronica onder extreme omstandigheden
Compacte hoogbetrouwbare voedingsapparaten voor nichemarkten
O&O en proefproductie van breedbandsemiconductorapparaten
Veelgestelde vragen
1Wat maakt 6H SiC-substraten anders dan 4H?
6H SiC heeft een ander zeshoekig polytype, een lagere elektronenmobiliteit en kosteneffectieve voordelen voor hoge temperaturen en gespecialiseerde toepassingen, terwijl 4H standaard is voor hoge snelheden,hoogwaardige energievoorzieningen.
2Kan 6H SiC hoge temperaturen weerstaan?
Ja, het behoudt mechanische en elektrische stabiliteit in extreme thermische omstandigheden.
3Zijn 6H SiC-substraten aanpasbaar?
Ja, de diameter, dikte, oppervlakteafwerking en geleidbaarheid kunnen worden aangepast aan de behoeften van O&O of productie.
4Welke industrieën gebruiken 6H SiC-substraten?
Hoogtemperatuur sensoren, UV-LED's, ruimtevaart, automobiel en industriële elektronica die robuuste prestaties vereisen onder extreme omstandigheden.