| Merknaam: | ZMSH |
Hoogzuivere semi-isolerende (HPSI) siliciumcarbidewafels vertegenwoordigen geavanceerde halfgeleidersubstraatmaterialen die zijn ontworpen voor operationele omgevingen met hoge frequentie, hoog vermogen en hoge temperaturen. Deze substraten zijn vervaardigd in configuraties met een diameter van 2 inch tot en met 8 inch en zijn verkrijgbaar in meerdere kwaliteitsniveaus: Prime Grade (voor productie), Dummy Grade (voor procesverificatie) en Research Grade (voor experimentele doeleinden), waarmee wordt voldaan aan diverse eisen binnen industriële productie en wetenschappelijk onderzoek.
![]()
| Parameter | Specificatie |
|---|---|
| Kristaltype | 4H-semi-isolerend |
| Elektrische weerstand | >10^5Ω·cm |
| Standaard dikte | 500 ± 25 µm |
| Kristallografische oriëntatie | <0001> ± 0,25° |
| Diktevariatie (TTV) | ≤ 5 μm |
| Oppervlakteboog | -25 tot +25 μm |
| Wafer Warp | ≤ 35 μm |
| Oppervlakteruwheid (Si-vlak) | Ra ≤ 0,2 nm |
Dit materiaal vertoont een extreem hoge elektrische weerstand, waardoor parasitaire stroomlekken in hoogfrequente en hoogspanningstoepassingen effectief worden geminimaliseerd.
Ja, we ondersteunen op maat gemaakte specificaties, waaronder dopingconcentratie, dimensionale parameters en oppervlaktekenmerken voor Prime- en Research Grade-producten.
Prime Grade-wafers hebben een minimale defectdichtheid die geschikt is voor actieve apparaatfabricage, terwijl Dummy Grade economische oplossingen biedt voor procestesten en apparatuurkalibratie.
Elke wafel ondergaat een individuele vacuümafdichting met behulp van cleanroom-compatibele materialen om de integriteit van het oppervlak tijdens transport te garanderen.
Bestellingen met standaardspecificaties worden doorgaans binnen 2 tot 4 weken verzonden, terwijl aangepaste vereisten doorgaans 4 tot 6 weken nodig hebben om te worden uitgevoerd.
Volledige productieketen van versnijden tot eindschoonmaak en verpakken.
Mogelijkheid om wafers terug te winnen met een diameter van 4 inch tot 12 inch.
20 jaar ervaring met het waferen en terugwinnen van monokristallijne elektronische materialen
ZMSH Technology kan klanten in batches voorzien van geïmporteerde en binnenlandse hoogwaardige geleidende, 2-6 inch semi-isolerende en HPSI (High Purity Semi-isolerende) SiC-substraten; Bovendien kan het klanten homogene en heterogene epitaxiale siliciumcarbideplaten bieden, en kan het ook worden aangepast aan de specifieke behoeften van klanten, zonder minimale bestelhoeveelheid.