Optische component voor dubbelzijdig gepolijste hoogzuivere SiC-spiegel voor MEMS-micromirroren

1. Ultra-lichtgewicht & Miniaturisatie​​:

• Het ​​compacte ontwerp (bijv. 20–50 mm diameter)​​ in combinatie met SiC’s ​​lage dichtheid (~3,1 g/cm³)​​ bereikt ​​extreem licht gewicht​​ en een ​​compacte structuur​​, waardoor het ideaal is voor ruimte- en gewichtsgevoelige geïntegreerde apparatuur.

2. ​​Superieure Stabiliteit & Milieubestendigheid​​:

• De ​​lage thermische uitzettingscoëfficiënt (~4,5×10⁻⁶/℃)​​ en ​​hoge elasticiteitsmodulus (>400 GPa)​​ zorgen voor ​​uitzonderlijke dimensionale en oppervlaktestabiliteit​​ bij temperatuurschommelingen en mechanische trillingen, met sterke weerstand tegen vervorming.

3. ​​Uitstekend Thermisch Management​​:

• ​​Hoge thermische geleidbaarheid (~120–200 W/m·K)​​ vergemakkelijkt snelle en uniforme warmteafvoer, waardoor lokale hotspots worden voorkomen en stabiele prestaties en betrouwbaarheid van optische systemen onder hoge temperatuur of hoge vermogensomstandigheden worden gewaarborgd.

4. ​​Top-Tier Optische Oppervlaktekwaliteit​​:

• Door middel van ​​dubbelzijdige polijsttechnologie​​ bereikt het ​​nanoschaal oppervlaktegladheid (Ra ≤ 0,5 nm) aan beide zijden​​ en ​​ultra-hoge vlakheid/paralleliteit​​, waardoor lichtverstrooiing en -verlies worden geminimaliseerd en tegelijkertijd een hoge beeldkwaliteit wordt gewaarborgd.

5. ​​Uitstekende Duurzaamheid & Chemische Inertheid​​:

• ​Hoge hardheid (Mohs 9,5)​​ biedt slijt- en krasbestendigheid, en ​​weerstand tegen zuren, basen en plasma-erosie​​ zorgt voor langdurige prestaties in ruwe omgevingen, waardoor de levensduur wordt verlengd.

​

​AR/MR Brillen Optische Systemen​​:

Als ​​diffractieve golfgeleiderlenzen, prisma's of reflectoren​​ voor het geleiden en weergeven van lichtpaden. Hun ​​hoge brekingsindex (~2,65), lichtgewicht en kleine afmetingen​​ zijn essentieel voor het bereiken van ​​slank brillenontwerp, een groot gezichtsveld (FOV) en het elimineren van regenboogpatronen​​.

• ​​Halfgeleider Lithografie & Precisie Inspectie Apparatuur​​:

Als ​​reflectoren of lenssubstraten​​ in de verlichtingssystemen van ​​lithografiemachines​​ of sensoren van ​​wafer inspectieapparatuur​​. Hun ​​hoge thermische stabiliteit en vlakheid​​ zijn cruciaal voor het handhaven van ​​nanoschaal overlay-nauwkeurigheid en inspectieprecisie​​.

• ​​High-End Laser Optische Systemen​​:

Gebruikt in ​​lasergalvanometers, laserinterferometers​​, of als ​​reflectoren/vensterspiegels in high-power lasers​​. Hun ​​hoge schade drempel, hoge thermische geleidbaarheid en stabiliteit​​ zorgen voor ​​precieze laserstraalsturing en langdurige stabiele systeemwerking​​.

• ​​MEMS & Micro-Optica Gebieden​​:

Als ​​substraten voor MEMS micromirrors​​ of ​​substraten voor micro-optische apparaten​​, toegepast in LiDAR, projectoren, enz., die voldoen aan strenge eisen voor ​​hoge frequentierespons, hoge stabiliteit en miniaturisatie​​.

ZMSH's SiC Keramische Producten

2. SiC Keramische Vacuüm Chuck ​​Flip-Chip Bonding Spiegel Polijsten Hoge Stijfheid​​