Productdetails:
Betalen & Verzenden Algemene voorwaarden:
|
Röntgensysteem: | Röntgenstraalbuis | Grootte van het monster: | Wafer: 2 ′′12 inch; Ingot: ≤ 200 mm (diameter) × 500 mm (lengte) |
---|---|---|---|
Hoekbereik: | θ: -10° tot +50°, 2θ: -10° tot +110° | Oriëntatie nauwkeurigheid: | ±10″–±30″ (hoogprecisiemodellen: ±3″) |
Beweging op meerdere assen: | X/Y/Z-aspositie, 360° rotatie ±15°, kantelregeling | Scansnelheid: | Volledige oriëntatie in 10 sec (volledig geautomatiseerd) |
toepassingen: | Vervaardiging van halfgeleiders, verwerking van optische materialen | ||
Markeren: | Instrument voor het bepalen van de snijhoek en waferoriëntatie,Hoge precisie waferoriëntatie-instrument |
XRD-gebaseerd Waferoriëntatie-instrument voor het bepalen van de snijhoek met hoge precisie
Een waferoriëntatie-instrument is een zeer nauwkeurig apparaat gebaseerd op Röntgen diffractie (XRD) technologie, ontworpen voor de halfgeleider- en optische materiaalindustrieën om de kristalroosteroriëntatie en snijhoeken te bepalen. De belangrijkste componenten zijn:
Parametercategorie | Parameter | Specificaties/Beschrijving |
Röntgenstralensysteem |
Röntgenbuis | Koper (Cu) doelwit, focusvlek 0,4×1 mm, luchtgekoeld |
Röntgenstralenspanning/stroom | 30 kV, 0–5 mA instelbaar | |
Detectortype | Geiger-Müller buis (lage energie) of scintillatieteller (hoge energie) | |
Tijdconstante | 0,1/0,4/3 sec instelbaar | |
Goniometer |
Monstergrootte | Wafer: 2–12 inch; Ingot: ≤200 mm (diameter) × 500 mm (lengte) |
Hoekbereik | θ: -10° tot +50°, 2θ: -10° tot +110° | |
Oriëntatienauwkeurigheid | ±10″–±30″ (hoogprecisiemodellen: ±3″) | |
Hoekresolutie | Minimum aflezing: 1″ (digitaal) of 10″ (schaal) | |
Scansnelheid | Volledige oriëntatie in 10 sec (volledig geautomatiseerd) | |
Automatisering & Besturing |
Monstertafel | V-groef (2–8 inch wafers), rand/OF uitlijning, 1–50 kg capaciteit |
Multi-as beweging | X/Y/Z-as positionering, 360° rotatie ±15°, kantelbesturing | |
Interface | PLC/RS232/Ethernet, MES-compatibel | |
Fysische Specificaties |
Afmetingen | 1130×650×1200 mm (L×B×H) |
Gewicht | 150–300 kg | |
Stroomvereisten | Eenfasig 220V±10%, 50/60 Hz, ≤0,5 kW | |
Geluidsniveau | <65 dB (in bedrijf) | |
Geavanceerde Functies |
Gesloten-lus Spanningsregeling | Real-time monitoring, 0,1–1,0 MPa spanningsregeling |
AI-gestuurde Optimalisatie | Defectdetectie, voorspellende onderhoudswaarschuwingen | |
Multi-materiaal Compatibiliteit | Ondersteunt kubische (Si), hexagonale (saffier) en asymmetrische kristallen (YAG) |
Het apparaat werkt via Röntgen diffractie en Omega scanning technologieën:
1. Röntgen diffractie:
2. Omega Scanning:
3. Geautomatiseerde Besturing:
Kenmerk
|
Beschrijving
|
Technische Parameters/Casestudies
|
Ultra-Hoge Precisie
|
Omega scanning nauwkeurigheid ±0,001°, Rocking Curve FWHM resolutie <0,005°
|
Snijfout siliciumcarbide wafer ≤±0,5°
|
Hoge-Snelheid Meting |
Enkele scan acquisitie van alle kristallografische gegevens, 200× sneller dan handmatig
|
Batchtesten van siliciumwafers: 120 wafers/uur
|
Multi-Materiaal Compatibiliteit |
Ondersteunt kubische (Si), hexagonale (saffier) en asymmetrische kristallen (YAG)
|
Toepasbare materialen: SiC, GaN, kwarts, granaat
|
AI Integratie
|
Deep learning algoritmen voor defectdetectie, real-time procesoptimalisatie
|
Defectsortering vermindert afvalpercentage tot <1%
|
Modulair Ontwerp
|
Uitbreidbaar X-Y platform voor 3D mapping of EBSD integratie
|
Detectie van dislocatiedichtheid van siliciumwafers ≤100 cm⁻²
|
1. Halfgeleiderfabricage:
2. Verwerking van Optische Materialen:
3. Hoge-Temperatuur Legeringen & Keramiek:
4. Onderzoek & Kwaliteitscontrole:
1. V: Hoe kalibreer je een waferoriëntatie-instrument?
A: Kalibratie omvat het uitlijnen van de röntgenbron en detector met behulp van referentiekristallen, wat doorgaans <0,001° hoeknauwkeurigheid en geautomatiseerde softwareaanpassingen voor precisie vereist.
2. V: Wat is de typische nauwkeurigheid van een waferoriëntatie-instrument?
A: High-end modellen bereiken ±0,001° precisie, cruciaal voor het snijden van halfgeleiderwafers en kristaldefectanalyse in industrieën zoals fotovoltaïek en geavanceerde keramiek.
Tags: #Waferoriëntatie-instrument, #XRD-gebaseerd, #Saffier, #SiC, #Hoge-precisie snijden, # Hoekbepaling
Contactpersoon: Mr. Wang
Tel.: +8615801942596