logo
Thuis ProductenHalfgeleidermateriaal

XRD-gebaseerd instrument voor waferoriëntatie voor het bepalen van de snijhoek met hoge precisie

Ik ben online Chatten Nu

XRD-gebaseerd instrument voor waferoriëntatie voor het bepalen van de snijhoek met hoge precisie

​​XRD-Based Wafer Orientation Instrument for High-Precision Cutting Angle Determination​​
​​XRD-Based Wafer Orientation Instrument for High-Precision Cutting Angle Determination​​ ​​XRD-Based Wafer Orientation Instrument for High-Precision Cutting Angle Determination​​ ​​XRD-Based Wafer Orientation Instrument for High-Precision Cutting Angle Determination​​ ​​XRD-Based Wafer Orientation Instrument for High-Precision Cutting Angle Determination​​

Grote Afbeelding :  XRD-gebaseerd instrument voor waferoriëntatie voor het bepalen van de snijhoek met hoge precisie

Productdetails:
Plaats van herkomst: China
Merknaam: ZMSH
Certificering: rohs
Modelnummer: Wafer Oriëntatie Instrument
Betalen & Verzenden Algemene voorwaarden:
Min. bestelaantal: 3
Prijs: by case
Verpakking Details: Verpakking in een cleanroom van klasse 100
Levertijd: 3-6 maanden
Betalingscondities: t/t
Levering vermogen: 1000 stuks per maand
Gedetailleerde productomschrijving
Röntgensysteem​​: Röntgenstraalbuis Grootte van het monster: Wafer: 2 ′′12 inch; Ingot: ≤ 200 mm (diameter) × 500 mm (lengte)
Hoekbereik: θ: -10° tot +50°, 2θ: -10° tot +110° Oriëntatie nauwkeurigheid: ±10″–±30″ (hoogprecisiemodellen: ±3″)
Beweging op meerdere assen: X/Y/Z-aspositie, 360° rotatie ±15°, kantelregeling Scansnelheid: Volledige oriëntatie in 10 sec (volledig geautomatiseerd)
toepassingen: Vervaardiging van halfgeleiders, verwerking van optische materialen
Markeren:

Instrument voor het bepalen van de snijhoek en waferoriëntatie

,

Hoge precisie waferoriëntatie-instrument

 Overzicht van Apparatuur voor Waferoriëntatie-instrumenten​

  

XRD-gebaseerd instrument voor waferoriëntatie voor het bepalen van de snijhoek met hoge precisie 0

 

​​XRD-gebaseerd Waferoriëntatie-instrument voor het bepalen van de snijhoek met hoge precisie​​

 

 

Een waferoriëntatie-instrument is een zeer nauwkeurig apparaat gebaseerd op ​​Röntgen diffractie (XRD)​​ technologie, ontworpen voor de halfgeleider- en optische materiaalindustrieën om de kristalroosteroriëntatie en snijhoeken te bepalen. De belangrijkste componenten zijn:

 

  • ​​Röntgenstralengeneratiesysteem​​: Koper- of molybdeendoelwit röntgenbuizen met een focusvlek van 0,4×1 mm, buisspanning van 30–50 kV en buisstroom van 0–5 mA.
  • ​​Goniometer​​: Dual-axis (Ω-θ) koppeling ontwerp dat ±0,001° hoekresolutie en rocking curve analyse ondersteunt.
  • ​​Monstertafel​​: V-groef of vlakke uitlijningsstructuur, compatibel met 2–12-inch wafers en grote ingots (≤20 kg).
  • ​​Automatisatiemodule​​: Stapelapparaat voor gelijktijdige positionering van 12 ingots, waardoor de productie-efficiëntie wordt verhoogd.

 

 


 

Uitgebreide Technische Specificaties van Waferoriëntatie-instrument


 

​​Parametercategorie​​ ​​Parameter​​ ​​Specificaties/Beschrijving​​
​​Röntgenstralensysteem​​


 
Röntgenbuis Koper (Cu) doelwit, focusvlek 0,4×1 mm, luchtgekoeld
Röntgenstralenspanning/stroom 30 kV, 0–5 mA instelbaar
Detectortype Geiger-Müller buis (lage energie) of scintillatieteller (hoge energie)
Tijdconstante 0,1/0,4/3 sec instelbaar
​​Goniometer​​



 
Monstergrootte Wafer: 2–12 inch; Ingot: ≤200 mm (diameter) × 500 mm (lengte)
Hoekbereik θ: -10° tot +50°, 2θ: -10° tot +110°
Oriëntatienauwkeurigheid ±10″–±30″ (hoogprecisiemodellen: ±3″)
Hoekresolutie Minimum aflezing: 1″ (digitaal) of 10″ (schaal)
Scansnelheid Volledige oriëntatie in 10 sec (volledig geautomatiseerd)
​​Automatisering & Besturing​​

 
Monstertafel V-groef (2–8 inch wafers), rand/OF uitlijning, 1–50 kg capaciteit
Multi-as beweging X/Y/Z-as positionering, 360° rotatie ±15°, kantelbesturing
Interface PLC/RS232/Ethernet, MES-compatibel
​​Fysische Specificaties​​


 
Afmetingen 1130×650×1200 mm (L×B×H)
Gewicht 150–300 kg
Stroomvereisten Eenfasig 220V±10%, 50/60 Hz, ≤0,5 kW
Geluidsniveau <65 dB (in bedrijf)
​​Geavanceerde Functies​​

 
Gesloten-lus Spanningsregeling Real-time monitoring, 0,1–1,0 MPa spanningsregeling
AI-gestuurde Optimalisatie Defectdetectie, voorspellende onderhoudswaarschuwingen
Multi-materiaal Compatibiliteit Ondersteunt kubische (Si), hexagonale (saffier) en asymmetrische kristallen (YAG)

 

 


 

Waferoriëntatie-instrument Werkingsprincipe

 

XRD-gebaseerd instrument voor waferoriëntatie voor het bepalen van de snijhoek met hoge precisie 1

Het apparaat werkt via ​Röntgen diffractie​​ en ​​Omega scanning​​ technologieën:

 

 

​​1. Röntgen diffractie​​:

  • Röntgenstralen die onder Bragg-hoeken op het kristaloppervlak vallen, genereren diffractiesignalen, waardoor de berekening van de roosterafstand en oriëntatie mogelijk wordt.
  • Rocking curve scanning evalueert roosterdefecten en oppervlaktespanning.

​​

 

2. Omega Scanning​​:

  • Het kristal roteert rond een vaste as terwijl de röntgenbuis en detector stationair blijven, waardoor dynamisch diffractiegegevens onder meerdere hoeken worden verzameld voor een volledige roostermapping in 5 seconden.
  • Geïntegreerde X/Y/Z-as beweging maakt 3D kristallografische oriëntatie mogelijk.

​​

XRD-gebaseerd instrument voor waferoriëntatie voor het bepalen van de snijhoek met hoge precisie 2

3. Geautomatiseerde Besturing​​:

  • PLC- of computergestuurde monsterrotatie en data-acquisitie, ondersteuning van vooraf ingestelde snijparameters (bijv. 8° of 32° sneden voor siliciumwafers).

 

 

 

 


 

Waferoriëntatie-instrument Belangrijkste Kenmerken & Voordelen​

 

 

​​Kenmerk​​

 

​​Beschrijving​​

 

​​Technische Parameters/Casestudies​​

 

​​Ultra-Hoge Precisie​​

 

Omega scanning nauwkeurigheid ±0,001°, Rocking Curve FWHM resolutie <0,005°

 

Snijfout siliciumcarbide wafer ≤±0,5°

 

​​Hoge-Snelheid Meting

​​

Enkele scan acquisitie van alle kristallografische gegevens, 200× sneller dan handmatig

 

Batchtesten van siliciumwafers: 120 wafers/uur

 

​​Multi-Materiaal Compatibiliteit

​​

Ondersteunt kubische (Si), hexagonale (saffier) en asymmetrische kristallen (YAG)

 

Toepasbare materialen: SiC, GaN, kwarts, granaat

 

​​AI Integratie​​

 

Deep learning algoritmen voor defectdetectie, real-time procesoptimalisatie

 

Defectsortering vermindert afvalpercentage tot <1%

 

​​Modulair Ontwerp​​

 

Uitbreidbaar X-Y platform voor 3D mapping of EBSD integratie

 

Detectie van dislocatiedichtheid van siliciumwafers ≤100 cm⁻²

 

 

 


 

 

Waferoriëntatie-instrument Toepassingsgebieden​

 

XRD-gebaseerd instrument voor waferoriëntatie voor het bepalen van de snijhoek met hoge precisie 3

1. Halfgeleiderfabricage​​:

  • ​​Silicium Wafer Snijden​​: Bepaalt <100> en <111> oriëntaties, waardoor snijverlies wordt geminimaliseerd (<5%).
  • ​​Siliciumcarbide (SiC) Wafers​​: 8° off-cut proces verbetert de doorslagspanning van het apparaat, verliespercentage <10%.

 

2. ​​Verwerking van Optische Materialen​​:

  • ​​Saffier Substraten​​: Snijdt LED-chips met ±0,1° precisie om het verlies van lichtefficiëntie te verminderen.
  • ​​YAG Laser Kristallen​​: Nauwkeurig snijden van laseresonatoroppervlakken voor superieure straalkwaliteit.

 

3. ​​Hoge-Temperatuur Legeringen & Keramiek​​:

  • ​​Turbinebladen​​: Oriëntatiecontrole van nikkelgebaseerde legeringen verbetert de hoge-temperatuurbestendigheid (>1200°C).
  • ​​Zirkoniumoxide Keramiek​​: Snijdt smartphone achterplaten met een uniforme dikte van ±0,02 mm.

 

4. ​​Onderzoek & Kwaliteitscontrole​​:

  • ​​Kristal Defect Analyse​​: Brengt dislocatiedichtheid in kaart via rocking curves (<10³ cm⁻²).
  • ​​Nieuw Materiaal R&D​​: Evalueert de roosteroriëntatie van perovskiet zonnecellen voor fotovoltaïsche efficiëntie.

 

 


 

Waferoriëntatie-instrument FAQ

 

 

1. V: Hoe kalibreer je een waferoriëntatie-instrument?​​

​​    A:​​ Kalibratie omvat het uitlijnen van de röntgenbron en detector met behulp van referentiekristallen, wat doorgaans ​​<0,001° hoeknauwkeurigheid​​ en geautomatiseerde softwareaanpassingen voor precisie vereist.

 

 

​​2. V: Wat is de typische nauwkeurigheid van een waferoriëntatie-instrument?​​

​​    A:​​ High-end modellen bereiken ​​±0,001° precisie​​, cruciaal voor het snijden van halfgeleiderwafers en kristaldefectanalyse in industrieën zoals fotovoltaïek en geavanceerde keramiek.

 

 

 

Tags: #Waferoriëntatie-instrument, #XRD-gebaseerd, #Saffier, #SiC, #Hoge-precisie snijden, # Hoekbepaling​​

 
 

Contactgegevens
SHANGHAI FAMOUS TRADE CO.,LTD

Contactpersoon: Mr. Wang

Tel.: +8615801942596

Direct Stuur uw aanvraag naar ons (0 / 3000)