Hoogzuivere SiC-gecoate dragerplaat voor het hanteren en overbrengen van wafers

Hoogzuivere SiC-gecoate dragerplaat voor het hanteren en overbrengen van wafers

De SiC Carrier Plate (Silicon Carbide Carrier Plate) is een hoogwaardig keramisch onderdeel dat veel wordt gebruikt in geavanceerde productiesectoren zoals halfgeleiders, LED's en krachtelektronica.Bekend om zijn uitzonderlijke hittebestandheidZMSH biedt op maat gemaakte SiC Carrier Plate-oplossingen.inclusief ontwerp, productie, testen en naverkoopsteun, waardoor optimale prestaties en betrouwbaarheid worden gewaarborgd voor waferhantering, epitaxiale groei en andere kritieke toepassingen.

Technische specificatie:

Belangrijkste kenmerken vanSiC-dragerplaat

1.Ultra-hoge temperatuurbestandheid- Stabiel werken tot 1650°C, ideaal voor CVD, MOCVD en andere processen bij hoge temperatuur.

2.Superieure thermische beheersingDe thermische geleidbaarheid van 120-200 W/m·K zorgt voor een snelle warmteafvoer en minimaliseert de thermische spanning.

3.Lage thermische expansie(4.3×10−6/K)

4.Hoge hardheid en slijtvastheid- Mohs-hardheid 9.2, ver boven kwarts en grafiet, verlengt de levensduur.

5.Chemische traagheid¢ Weerbaar tegen zuur-, alkalis- en plasma-erosie, geschikt voor ruwe omgevingen.

6.Hoge zuiverheid en vrij van verontreinigingMetalen onzuiverheidsniveaus < 1 ppm, voldoen aan de reinigingsnormen voor halfgeleiders.

Primaire toepassingen vanSiC-dragerplaat

- Ik weet het niet.

• Vervaardiging van halfgeleiders️ Wafer-epitaxie (GaN/SiC), CVD-reactiecamera drager.

· LED-productieOndersteunt saffiersubstraten voor een uniforme groei van MOCVD.

· Energie-elektronica Hoogtemperatuur sinterdrager voor SiC/GaN-energieapparaten.

· Geavanceerde verpakkingen Precieze plaatsing en laserbewerking van het substraat.

Procescompatibiliteit, materialen en toepassingen

Producten foto's vanSiC-dragerplaat

ZMSH levert uitgebreide end-to-end oplossingen voor Silicon Carbide Carrier Plates (SiC Carrier Plates), waarbij zij op maat gemaakte ontwerpdiensten aanbiedt met op maat gemaakte afmetingen, diafragmapatronen,en oppervlaktebehandelingen, met inbegrip van spiegelpoeling en gespecialiseerde coatings, precisieproductie met behulp van CVD/RBSiC-processen die een strikte consistentie van de batch handhaven binnen toleranties van ±0,05 mm, strenge kwaliteitscontroleprotocollen,versnelde levering van prototypes met 72 uur, en wereldwijde technische ondersteuning met 24 uur per dag, 7 dagen per week en 7 dagen per week, zodat klanten producten met hoge prestaties en uitzonderlijke uniformiteit en betrouwbaarheid voor hun kritieke toepassingen ontvangen.