Volledig automatische precisie-snijzaagapparatuur voor het snijden van 8 inch 12 inch wafers

Abstract

Volledig automatische precisie-snijzaagapparatuur voor het snijden van 8 inch 12 inch wafers

De volledig automatische precisieslijpzaag is een geavanceerd halfgeleiderslijpsysteem dat is ontworpen voor de hoogprecisie-scheiding van wafers (8"/12") en broze materialen.Het gebruik van de diamantenblaadtechnologie (30,000-60,000 RPM), bereikt het een snijnauwkeurigheid op microniveau (± 2 μm) met minimale chips (< 5 μm), waardoor het beter presteert dan alternatieve methoden in halfgeleiders en geavanceerde verpakkingstoepassingen.Het systeem bevat spindels met een hoge stijfheid, nanometrische positioneringsstadia en intelligente visie-uitlijning voor onbemande werking, die voldoen aan de strenge eisen van de moderne chipproductie en de derde generatie halfgeleiderverwerking.

Technische parameters

Voordelen

1. Hoog snelheidscassetframe scannen met botsingsalarmsysteem zorgt voor een snelle precisie van de positie en een superieure foutcorrectie;

2De innovatieve tweespindel synchrone snijmodus verhoogt de verwerkingsefficiëntie met 80% in vergelijking met eenspindelsystemen.

3. Premium geïmporteerde kogelschroeven, lineaire leidingen en Y-as rooster gesloten lus controle zorgen voor de lange termijn bewerking stabiliteit;

4Volledig geautomatiseerde werking (laden/positioneren/snijden/inspecteren) vermindert de handmatige ingreep aanzienlijk;

5. Uniek ontwerp met twee spindels in de vorm van een portier met een minimale afstand tussen de lemmen van 24 mm biedt plaats aan uiteenlopende snijvereisten;

Kenmerken

1. Hoogprecisie-hoogte-meting zonder contact;

2. Multi-wafer gelijktijdig twee-blad snijvermogen;

3. Intelligente detectiesystemen (auto-kalibratie/inspectie van snijmerken/bewaking van scheuren);

4. Algorithmen voor multi-modus-uitlijning die kunnen worden aangepast aan verschillende procesvereisten;

5. Realtime positiebewaking met automatische foutcorrectie;

6Mechanisme voor de controle van de kwaliteit van de eerste versnelling;

7. Aanpasbare fabrieksautomatisering module integratie;

Aanpassingsmaterialen en toepassingen

Bewerkingseffect