Micro-jetlaserapparatuur voor het afronden van siliconcarbide-wafers en het afsplitsen van wafers op basis van silicium

Micro-jetlaserapparatuur voor het afronden van siliconcarbide-wafers en het afsplitsen van wafers op basis van silicium

Microjetlaserapparatuur is een soort precisiebewerkingssysteem dat laser met hoge energie en vloeibare straal op microneschaal combineert, voornamelijk gebruikt in high-end productiesectoren zoals halfgeleiders,opto-elektronica en medischeHet kernprincipe is het bereiken van een submicron-bewerkingsnauwkeurigheid (tot 0.5 μm) en de hitte-beperkte zone (HAZ<1 μm) door gepulseerd laserlicht (zoals ultraviolet of groen licht) te koppelen aan een hoge snelheid vloeistofstraal (meestal gedeïoniseerd water of inerte vloeistof)In de halfgeleiderindustrie is de technologie aanzienlijk beter dan traditionele processen, zoals:het snijden van siliconcarbide (SiC) -wafers onder 5 μm randbreukcontrole, snelheid tot 100 mm/s; bij het bewerken van 3D-IC via siliciumgat (TSV), rauwheid van de gatwand Ra<0,5μm, diepte/breedteverhouding van 10:1Het kan ook worden gebruikt voor het etsen van GaN-apparaatpoorten en het openen van RDL-vensters in geavanceerde verpakkingen met een nauwkeurigheid van ± 1 μm.compatibiliteit met de omgeving van de schoonruimte, en ondersteuning voor femtosecondelaserupgrades voor nanoschaalverwerking.

Werkbeginsel van de microjetlasertechnologie

De gefocuste laserstraal is gekoppeld aan de hoge snelheid waterstraal,en de energiestraal met een gelijkmatige verdeling van de dwarsdoorsnede energie wordt gevormd na volledige reflectie op de binnenwand van de waterkolomHet heeft de kenmerken van een lage lijnbreedte, een hoge energiedichtheid, een controleerbare richting en een real-time verlaging van de oppervlaktetemperatuur van verwerkte materialen.het creëren van uitstekende voorwaarden voor een geïntegreerde en efficiënte afwerking van harde en broze materialen.
De lasertechnologie voor het bewerken van micro-waterstraal maakt gebruik van het fenomeen van totale reflectie van de laser op de grens van water en lucht, zodat de laser in de stabiele waterstraal wordt gekoppeld,en de hoge energiedichtheid in de waterstraal wordt gebruikt om materiaal te verwijderen.

Technische specificaties

Technisch toepassingsgebied

Halfgeleiderveld

Het siliciumcarbide-balk is rond.

De "zachte" bewerkingsbenadering van de Microjet lasertechnologie (LMJ) voldoet aan de toenemende kwaliteitseisen voor het snijden, grooven en snijden van gevoelige halfgeleidermaterialen,het bereiken van gladde verticale snijkanten, waarbij de breuksterkte van het materiaal behouden blijft en het risico op breuk aanzienlijk wordt verminderd.

Kenmerken:
De thermische schade is bijna verwaarloosbaar.
De verwerkingskosten per uur bedragen 55% van de traditionele verwerkingstechnologie;
De opbrengst bedraagt meer dan 99%;
De arbeidskosten zijn een tiende van wat ze nu zijn.

Lasersnijwerk op siliciumcarbideceramica

Wafersnij

Kenmerken:
Een 6-inch single wafer vermindert de totale substraatkosten met 35%; 8 keer efficiënter
FRT-topografieonderzoek BOW=1,4μm
AFM-oppervlakteproef Ra=0,73μm
CMP kan direct op het oppervlak van de wafer worden uitgevoerd

Opmerking: Microjetlaser kan worden gebruikt voor het op maat snijden van substraatdikte ≥ 250 μm

Wafers in stukken quality

Snijden/schrijven van gallioxide

Voor breekbare materialen wordt de microjetlaser toegepast zonder mechanische spanning of ultrahoge energie, waardoor het probleem van materiaalkraken tijdens de verwerking beter kan worden opgelost.

Snijden met galliumoxide zonder rand ineenstorting, geen scheuren, geen gallium ionen vanwege hoge temperatuur vloeistofhouding.

Gallium-oxide-wafers met een kwaliteit van

LTCC-keramisch substraatveld

De geavanceerde technologie van de microjetlaser is op dit gebied onvervangbaar en kan nauwkeurig voldoen aan de ultra-hoge indexvereisten van de conische, ronde,plaatsing en vlakheid van de sondegaten, en vermijdt de verwerkingsfouten van meerlaagse heterogene materialen.

LTCC Verwerking van keramisch substraat