Saffirapplicatorbuizen zijn gespecialiseerde onderdelen die worden gebruikt in halfgeleiderplasma- en procesapparatuur waarbij de buis kan worden blootgesteld aan magnetische of RF-energie, reactieve procesgassen,verhoogde temperaturen en plasmageneratie.

In afgelegen plasma-systemen kan procesgas door een applicatorbuis gaan terwijl microgolfenergie wordt gekoppeld aan het applicatorgebied om reactieve plasmaspecies te genereren.Safir is vooral geschikt voor dit soort toepassingen vanwege zijn combinatie van thermische stabiliteit, elektrische isolatie, chemische weerstand en eigenschappen van de micro-/RF-transmissie.

Onze sapphire applicatorbuizen kunnen worden geleverd als afzonderlijke buizen of als complete assemblages met precisie metalen behuizingen, gegraven connectoren,met een vermogen van meer dan 10 W.

Het hier getoonde product combineert een precieze saffierbuis met een bewerkte metalen montageconstructie en is bestemd voor gebruik als vervangend of op maat gemaakte onderdeel voor semiconductorprocesapparatuur.

Belangrijkste kenmerken

Hoge zuiverheid saffier

De applicatorbuis is vervaardigd van synthetische saffieren die geschikt zijn voor veeleisende semiconductorapparatuuromgevingen.

Sapfieren bieden een uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen, blootstelling aan plasma en chemisch agressieve procesomstandigheden, terwijl ze een hoge mechanische sterkte behouden.

Geschikt voor plasma-toepassingen

Saffirietubes worden veel gebruikt in toepassingen voor de verwerking van halfgeleiders, waaronder plasma applicatorbuizen, plasma containmentbuizen,componenten van procesgasinjectoren en aanverwante plasmageneratiesystemen.

Microwave en RF compatibel

Safir biedt uitstekende dielectrische eigenschappen en RF/microgolftransmissievermogen, waardoor het geschikt is voor componenten die zijn geplaatst in microgolf- of plasmaopwekkingssystemen op afstand.

Productie van precisiebuizen

De afmetingen van de buizen kunnen worden gecontroleerd volgens de eisen van de klant, waaronder:

• Buitendeurs
• Inwendige diameter
• Wanddikte
• Algemene lengte
• Eindgeometrie
• Structuur van de schouder
• Groefontwerp
• Afwerking van het oppervlak
• Montage-interface

Saffira + metalen assemblage

Naast de vervaardiging van saffierbuizen kunnen wij ook geïntegreerde assemblages leveren met bewerkte metalen onderdelen.

De beschikbare diensten kunnen zijn:

• metalen behuizing
• van de soort gebruikt voor het vervaardigen van elektrische apparaten
• Interne bevestigingsconstructies
• met een breedte van niet meer dan 50 mm
• Flangen
• Verzegelingsinterfaces
• met een vermogen van niet meer dan 50 W
• Vervaardiging van vervangingsassemblages

Op maat gemaakte onderdelen

Wij ondersteunen op maat gemaakte onderdelen voor halfgeleiderapparatuur volgens:

• Tekeningen van de klant
• Originele monsters
• Afmetingen van de apparatuur
• Bestaande specificaties van onderdelen
• OEM-referentienummers
• Requirements voor reverse engineering

Dit maakt het product geschikt voor onderhouds-, vervangings- en lokalisatieprojecten van halfgeleiderapparatuur.

Typische toepassingen

Sapphire applicatorbuizen kunnen worden gebruikt in apparatuur en processen zoals:

• Verwijderde plasmabronsystemen
• Reiniging van plasmakamers
• Generatie van microgolfplasma
• CVD-apparatuur voor halfgeleiders
• PECVD-apparatuur
• HDP-CVD-apparatuur
• apparatuur voor plasma-etsen
• Dry etching systemen
• Levering van procesgas
• Plasmagas activeringssystemen
• Onderdelen voor halfgeleiderapparatuur

Sapfierslangen worden al commercieel gebruikt voor halfgeleiderplasma-applicatoren, plasmacontainers en procesgasinjectoren.

Productspecificaties

Opmerking: afmetingen en constructies worden vervaardigd volgens de uitrusting, de tekening of het bestaande monster van de klant.

Waarom saffier gebruiken voor plasma-applicatorbuizen?

De applicatorbuis bevindt zich in een van de meest veeleisende delen van een plasma-opwekkingssysteem.

Afhankelijk van het ontwerp van de apparatuur kan de buis tegelijkertijd reagerende gassen, energieke plasmaspecies, microgolfenergie en verhoogde temperaturen ondervinden.

In vergelijking met conventionele glasmaterialen biedt saffier een combinatie van:

• Hoogtemperatuurweerstand
• Hoge mechanische sterkte
• Uitstekende chemische stabiliteit
• Plasmaweerstand
• Goede dielectrische eigenschappen
• Mikrogolf/RF-transmissie
• Langdurige dienstverlening in veeleisende procesomgevingen

Om deze reden is saffier een belangrijk materiaal geworden voor plasma applicatorbuizen en andere componenten van halfgeleiderprocesapparatuur.

Productie van tubes voor het aanbrengen van saffier op maat

Wij produceren saffieren componenten voor halfgeleiderapparatuur met de nadruk op custom en vervangende toepassingen.

In plaats van de klanten te beperken tot standaardbuis afmetingen, kunnen wij onderdelen produceren volgens de werkelijke vereisten van procesapparatuur.

Customization opties omvatten:

Saffiraanrichting

• OD en ID
• De lengte van de buis
• Wanddikte
• Buizen
• Trappen en schouders
• met een breedte van niet meer dan 50 mm
• Ruwheid van het oppervlak
• Poliervereisten

Metalen onderdelen

• Afmetingen van het huis
• Specificaties van de draad
• Montage-interfaces
• Flangen
• met een gewicht van niet meer dan 30 g/m2
• Verbindingsconstructies

Vergadering

Safirbuizen kunnen ook worden geleverd met bijbehorende metalen onderdelen als onderdeel van een samengestelde halfgeleiderapparatuur.

Vervangings- en omgekeerde technische dienst

Voor onderdelen van halfgeleiderapparatuur die niet meer worden geproduceerd, moeilijk te verkrijgen of op maat zijn gemaakt, kunnen klanten ons:

1. Deelnummer van de oorspronkelijke uitrusting
2. Technische teken
3. Foto's
4. Gebruikt of nieuw monster
5. Critische afmetingen
6. Model van de uitrusting
7. Informatie over de aanvraag

Ons ingenieursteam kan de structuur en de haalbaarheid van de productie beoordelen voordat u een offerte doet.

Voor onderdelen die als alternatief voor bestaande uitrustingsonderdelen worden vervaardigd, moet de definitieve compatibiliteit altijd worden bevestigd op basis van de uitrustingsconfiguratie en technische specificaties van de klant.

Kwaliteitscontrole

Afhankelijk van de eisen van de klant kan de inspectie omvatten:

• Afmetingscontrole
• OD / ID-inspectie
• Meting van de wanddikte
• Lange inspectie
• Inspectie van de oppervlakte
• Thread inspectie.
• Montage-inspectie
• Beoordeling van visuele gebreken
• Inspectie van verpakkingen

De inspectieverslagen kunnen worden verstrekt op basis van de eisen van het project.

Welke informatie dient u te sturen voor een offerte?

Voor een snellere offerte:

• Producttekening
• Safirbuis OD
• Identificatie van de saffierbuis
• De lengte van de buis
• Wanddikte
• Afwerking van het oppervlak
• Metalen behuizingsmateriaal
• Specificaties van de draad
• Merk/model van de apparatuur
• OEM-onderdeelnummer, indien beschikbaar
• Vereiste hoeveelheid
• Toepassings- of procesomgeving

Indien er geen tekening beschikbaar is, dient u duidelijke foto's en een fysiek monster ter evaluatie te sturen.

Veelgestelde vragen

Waar wordt een sapphiren applicatorbuis voor gebruikt?

Een saffier applicatorbuis wordt gewoonlijk gebruikt in halfgeleiderplasmaapparatuur, met name in plasmageneratie, plasma-reiniging op afstand en procesgas activeringssystemen.

Kunt u de applicatorbuis maken?

Ja, naast saffierbuizen kunnen metalen behuizingen, draadcomponenten en mechanische onderdelen op maat worden vervaardigd volgens tekeningen of monsters.

Kun je vervangende onderdelen voor bestaande halfgeleiderapparatuur produceren?

Ja, we ondersteunen op tekening gebaseerde en op monsters gebaseerde productie voor vervangende componenten van halfgeleiderapparatuur.informatie over monsters en apparatuur voor evaluatie.

Kunnen de afmetingen van de saffierbuis aangepast worden?

De buitendiameter, de binnendiameter, de lengte, de wanddikte, de geometrie van de buis en de oppervlakte kunnen allemaal worden aangepast.

Biedt u kleine hoeveelheden aan?

Prototypes, onderhouds- en kleine partijprojecten voor halfgeleiderapparatuur kunnen worden beoordeeld op basis van de vereiste afmetingen en de moeilijkheidsgraad van de productie.