BOROFLOAT 33 BF33 Borosilicaatglaswafer voor halfgeleider-MEMS en optische toepassingen

BF33 (BOROFLOAT 33) is een hoogwaardige borosilicaatglaswafer vervaardigd met behulp van geavanceerde microfloat-technologie.en microfluidische toepassingen vanwege de uitstekende thermische stabiliteit, hoge optische transmissie en sterke chemische weerstand.

Met een thermische uitbreidingscoëfficiënt van ongeveer 3,3 × 10−6 /K, past BF33 nauw bij silicium, waardoor het een ideaal substraat is voor waferbinding, microfabricatie en precisie-optische systemen.

Het biedt een uitstekende vlakheid, een zeer lage oppervlaktruisheid en een hoge mechanische sterkte, waardoor het geschikt is voor veeleisende cleanroom- en precisie-engineeringomgevingen.

Materiële eigenschappen

Belangrijkste kenmerken

• Een lage thermische uitbreidingscoëfficiënt bij siliciumsubstraten
• Hoge optische transmissie van UV naar nabij-infrarood
• Uitstekende chemische weerstand tegen zuren, alkalis en oplosmiddelen
• Hoge thermische stabiliteit tot 450°C (langdurig gebruik)
• Kortdurende weerstand tot 500°C
• Ultra-gletste oppervlakkegehalte (Ra < 1 nm, beschikbaar DSP)
• Hoge mechanische sterkte en uitstekende krasbestendigheid
• Lage autofluorescentie voor biomedische toepassingen
• Uitstekende vlakheid en lage TTV voor precisieprocessen

Toepassingen

Applicaties voor halfgeleiders en MEMS

• MEMS-sensoren en micro-apparaten
• verpakkingssubstraten op waferniveau
• Siliciumanodische bindingsprocessen
• Microfluïdische chips en lab-on-chip systemen
• Waferdrager- en verdunningsprocessen

Optische en fotonische systemen

• Laservensters en optische componenten
• Mikroscopen en beeldvormende systemen
• optische filters en precisiesubstraten
• optische assemblages met een hoge stabiliteit

Biomedische en analytische hulpmiddelen

• Biochips en diagnostische platforms
• PCR- en lab-on-chip-systemen
• detectiesystemen met een lage autofluorescentie
• met een vermogen van niet meer dan 50 W

Industriële en hoge temperatuur toepassingen

• Ovenbewakingsvensters
• voor chemische reactoren
• Sensorbeschermingsramen
• Milieubewakingssystemen

Beschikbare specificaties

Voordelen

BF33 borosilicaat glas wafer combineert silicium-matched thermische uitbreiding, uitstekende optische prestaties, hoge chemische duurzaamheid, en MEMS-compatibele oppervlakkegehalte.

Het wordt veel gebruikt als brugmateriaal tussen de verwerking van halfgeleiders, optische techniek en de fabricage van micro-apparaten.

Veelgestelde vragen

Wat is een BF33 borosilicaat glas wafer?

BF33 is een hoogzuivere borosilicaatglaswafer die wordt geproduceerd door microfloat-technologie, met lage thermische expansie, hoge optische helderheid en sterke chemische weerstand.

Waarom wordt BF33 gebruikt in MEMS-toepassingen?

De thermische uitbreiding is vergelijkbaar met die van silicium, waardoor de spanning tijdens de binding wordt verminderd en de stabiliteit in MEMS- en waferprocessen wordt verbeterd.

Kunnen BF33 wafers gepolijst worden?

Ja, BF33-wafers zijn verkrijgbaar in SSP- en DSP-vorm.

Is BF33 geschikt voor optische toepassingen?

Ja, het zorgt voor een hoge transmissie van UV naar bijna-infrarood golflengten, waardoor het ideaal is voor optische en fotonische systemen.

Gerelateerde producten

JGS1 JGS2 Wafers Optische kwaliteit gesmolten kwartswafers 2-12 inch