SiC-keramische eindeffector voor waferbehandeling - Corrosie- en hittebestendig voor de verwerking van halfgeleiders

Productoverzicht:

OnzeHoge zuiverheid SiC keramische eindeffectoris ontworpen voor een nauwkeurige en betrouwbare bewerking van wafers in halfgeleiderproductieprocessen.deze eindeffector is ontworpen om bestand te zijn tegen de extreme omstandigheden die gewoonlijk voorkomen bij de verwerking van halfgeleidersMet zijn uitzonderlijke thermische en chemische weerstand zorgt de SiC eindeffector voor superieure prestaties, veiligheid,en levensduur bij het hanteren van delicate halfgeleiderwafels.

Deze eindeffector is essentieel voor verschillende kritieke operaties, waaronder wafertransport, etsen, afzetting en testen.en lage deeltjesopwekking, die cruciaal zijn voor het behoud van de integriteit van de halfgeleiderapparaten tijdens de productie.

Belangrijkste kenmerken:

• Materiaal:Siliciumcarbide (SiC) van hoge zuiverheid, zuiverheid ≥ 99%

• Thermische weerstand:Tegen temperaturen tot1600°C(2900°F)

• Chemische weerstand:Uitstekende weerstand tegen zuren, basen en plasmaomgevingen

• Mechanische sterkte:Buigsterkte > 400 MPa, met hoge stijfheid en duurzaamheid

• Deeltjesopwekking:Zorgt voor compatibiliteit van de schoonruimte, waardoor het risico op besmetting wordt verminderd

• Aanpasbare maten:Beschikbaar voor 4", 6", 8", 12" wafer handling, met opties voor aangepaste ontwerpen en slots voor robotarm compatibiliteit

• Oppervlakte afwerking:Verkrijgbaar in gepolijste of matte afwerking op basis van de eisen van de gebruiker

• Kwaliteit van de schoonruimte:Geschikt voor gebruik in schoonruimtes van klasse 1·100, zodat een optimale schoonheid wordt gewaarborgd in semiconductorverwerkingsomgevingen

Toepassingen:

• Waferbehandeling: Veilig en nauwkeurig gebruik van halfgeleiderwafels tijdens verschillende productiestadiums

• Verwerking van halfgeleiders: Ideaal voor omgevingen met hoge temperaturen en chemische intensiteit, zoals etsen, afzetting en testen

• Robotarmcompatibiliteit: ontworpen voor eenvoudige integratie met robotarm die wordt gebruikt bij het transport en de manipulatie van wafers

• Pakketonderzoek en chipsortering: Biedt betrouwbare prestaties bij het sorteren en testen van wafers

Productspecificaties: