1 Inch Enkele Wafer Cassette voor ESD-veilige Wafer Opslag

1-inch Enkele Wafer Cassette voor ESD-veilige Wafer Opslag

De 1-inch wafer cassette is een gespecialiseerde container ontworpen voor het opslaan, transporteren en geautomatiseerd hanteren van 1-inch (25,4 mm) wafers in de halfgeleiderfabricage, opto-elektronische apparaten en micro-elektronica R&D. Vervaardigd uit hoogzuivere polymeren (zoals PEEK of PVDF) of antistatische materialen, zorgt het voor waferbescherming tegen contaminatie, elektrostatische schade en fysieke impact in cleanroom-omgevingen. Conform SEMI-normen is de cassette geschikt voor geautomatiseerde wafer transfersystemen in processen zoals MOCVD, PECVD, lithografie en etsen.

1-inch Wafer CassetteBelangrijkste Kenmerken

1. Ultra-Schone Prestaties:

• 1-inch Wafer Cassette gecertificeerd voor Klasse 100 cleanroom met ultra-lage deeltjesgeneratie (<5 particlesft³ for>0.1μm)

• Gladde oppervlakteafwerking voorkomt krassen op wafers

2. ESD-Bescherming:

• Met koolstofvezel versterkte of antistatische coating met een oppervlakte weerstand van 10⁶-10⁹Ω/sq

• 1-inch Wafer Cassette voorkomt effectief de aantrekking van deeltjes en schade door elektrostatische ontlading

3. Mechanische Betrouwbaarheid:

• Hoge temperatuurbestendigheid (tot 150°C) en chemische bestendigheid (tegen zuren, basen en organische oplosmiddelen)

• 1-inch Wafer Cassette trilling-getest ontwerp conform voor veilig transport

4. Automatisering Compatibiliteit:

• 1-inch Wafer Cassette gestandaardiseerde interfaces (SMIF/FOUP compatibel) voor robotische handling

• Compatibel met belangrijke halfgeleiderapparatuur (ASML, Applied Materials, etc.)

5. Precisie Wafer Bescherming:

• 1-inch Wafer Cassette sleuf pitch nauwkeurigheid ±0,1 mm met wafer positioneringsfout ≤0,05 mm

• Optionele RFID-tag sleuven voor wafer traceerbaarheid