Aangepaste productiediensten van
6-inch diameter 150 mm kwartskristalglas wafer 5N zuiverheid SiO₂
ZMSH is gespecialiseerd in de productie van 6-inch kwartswafers en biedt:
Aanpassing van meerdere formaten: Standaard 6-inch wafers plus 4", 8" en 12" varianten
Randbewerking: Opties voor afgeschuinde randen, inkepingen en oriëntatievlakken
Oppervlaktebehandelingen: Aangepaste polijst-, coating- en patroondiensten
Parameter voor 61. V: Wat zijn de voordelen van 6-inch kwartswafers ten opzichte van kleinere formaten in de halfgeleiderproductie?
| ParameterSpecificatie |
Diameter |
| 6 inch (150 mm) |
Diktebereik |
| 0,5 mm ~ 3,0 mm |
Diktetolerantie |
| ±0,02 mm |
Totale diktevariatie |
| ≤10μm |
Oppervlakte ruwheid (gepolijst) |
| ≤0,5 nm Ra |
Paralleliteit |
| ≤3μm |
CTE (20-300°C) |
| 0,55×10⁻⁶/°C (ultra-lage thermische uitzetting) |
Transmissie @193nm |
| >92% |
Weerstand |
| >10¹⁶ Ω·cm |
Vacuümcompatibiliteit |
| 10⁻⁰ Torr |
Buigsterkte (versterkt) |
| 500-700 MPa |
|
Strategische toepassingen van 6inch kwartswafers1. V: Wat zijn de voordelen van 6-inch kwartswafers ten opzichte van kleinere formaten in de halfgeleiderproductie?
| Technische specificatie |
Hoge zuiverheid |
| ≥99,999% SiO₂-gehalte |
CTE (20-300°C) |
| 0,55×10⁻⁶/°C (ultra-lage thermische uitzetting) |
Treksterkte |
| 50-70 MPa (chemisch versterkte opties beschikbaar) |
Optische transmissie |
| >92% @190-3500nm (UV tot NIR spectrum) |
Elektrische eigenschappen |
| Weerstand >10¹⁶ Ω·cm, piëzo-elektrische coëfficiënten |
|
Strategische toepassingen van 6inch kwartswafers1. V: Wat zijn de voordelen van 6-inch kwartswafers ten opzichte van kleinere formaten in de halfgeleiderproductie?
6-inch kwartswafers worden veel gebruikt in
halfgeleiderverpakkingen, chipfabricage, en gerelateerde gebieden, met name bij de productie van:- Geheugenchips
(DRAM, NAND Flash)- Analoge/vermogensapparaten
(IGBT, MOSFET)- Geavanceerde sensoren
(MEMS, CMOS-beeldsensoren)2. Optische componenten
Vanwege hun
hoge optische transmissie en mechanische robuustheid zijn kwartswafers ideaal voor:- Precisie lenzen
(asferisch, microlens arrays)- Optische filters
(banddoorlaat, dichroïsch)- Golfgeleiders
(fotoniche IC's, vezelkoppelingselementen)3. MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems)
Kwartswafers dienen als premium substraten voor MEMS-apparaten vanwege hun
dimensionale stabiliteit en mechanische robuustheid, waaronder:- Microsensoren
(druk, traagheid, biosensoren)- Microactuatoren
(RF-schakelaars, piëzo-elektrische transducers)- Resonatoren
(5G-filters, timing-apparaten)4. High-Temperature Poly-Si TFT-LCD's
Kwartswafers zijn cruciaal bij de productie van
hoogwaardige displays, specifiek:- HTPS (High-Temperature Poly-Si) TFT-backplanes
- Microdisplays
(AR/VR, LCoS)- Geavanceerde LCD-panelen
(OLED-inkapselingssubstraten)
Aangepaste productiediensten van
6inch kwartswafers1. V: Wat zijn de voordelen van 6-inch kwartswafers ten opzichte van kleinere formaten in de halfgeleiderproductie?
1. Materiaalselectie: JGS1/JGS2 kwarts, synthetisch gesmolten silica
2. Precisiebewerking:
- Lasersnijden (±5μm tolerantie)
- Ultrasoon boren (aspect ratio 10:1)
3. Oppervlaktetechniek:
- Nano-polijsten (Ra
<0,3 nm)- DUV/IR anti-reflectie coatings
4. Kwaliteitsborging:
- Klasse 10 cleanroom verwerking
- Volledige metrologierapporten (TTV, warp, bow)
FAQ
van 6inch kwartswafers1. V: Wat zijn de voordelen van 6-inch kwartswafers ten opzichte van kleinere formaten in de halfgeleiderproductie?
Uw bericht moet tussen de 20-3.000 tekens bevatten!
