4-inch kwarts wafer diameter 100mm gesmolten silica wafer voor halfgeleiderfabricage

- Ik weet het niet.

4 inch quartz wafer diameter 100 mm gesmolten silica wafer voor de vervaardiging van halfgeleiders

De 4-inch kwartswafer (100mm) is een grootformaat, ultra-hoogzuiver gesmolten silica substraat ontworpen voor hoge precisie, hoge stabiliteit toepassingen in halfgeleiders, opto-elektronica,en geavanceerde opticaIn vergelijking met 3-inch wafers biedt de 4-inch specificatie een aanzienlijk grotere bruikbare oppervlakte, waardoor de productie-efficiëntie wordt verbeterd, met name voor de batchproductie van IC-fotomaskers.laseroptica met een hoog vermogen, en MEMS-sensoren.

ZMSHis gespecialiseerd in onderzoek en ontwikkeling en productie van kwartswafers van 4 inch en groter, en biedt:

- Volledige maat aanpassing: Ondersteunt 4-inch, 6-inch en 8-inch wafers, met niet-standaard maten (bijv. vierkant, sectorvormig) beschikbaar.

- High-precision verwerking: Omvat dubbelzijdig ultrapolijsten (Ra≤0,5 nm), laserbepalen (±0,01 mm tolerantie) en microgaten/speciale vormen via boren.

- Functionele behandelingen: antireflectieve (AR) coatings, IR antireflectieve, diamant-achtige koolstof (DLC) coatings, en meer.

- Industriële oplossingen: Schoonheid op halfgeleiderniveau (klasse 10), lage defectdichtheid (≤ 0,1/cm2), ideaal voor EUV-litografie en quantumcomputing.

Specificatie voor4 inch kwartswafel

Belangrijkste kenmerken van4 inch kwartswafel

1Grote precisie.: TTV≤10μm bij een diameter van 100 mm zorgt voor eenvormigheid van het proces.

2Ultra lage CTE: 0,55×10−6/°C, geschikt voor processen bij hoge temperaturen (bijv. gloeien, ionimplantatie).

3. Breedbandtransparantie: > 93% doorstraling @ 193 nm (DUV), > 90% @ 3-5 μm (IR).

4. Superieure oppervlakkegehalte: dubbelzijdig gepolijst met Ra≤0,5 nm voor nanoschaal lithografie.

5Verbeterde duurzaamheidOptioneel chemisch versterken verhoogt de buigsterkte tot 600 MPa; plasma-bestand.

- Ik weet het niet.Strategische toepassingenvan4 inch kwartswafel

- Ik weet het niet.

Aanpassingsdiensten

ZMSH biedtend-to-end aanpassing voor 4 inch kwartswafers, met inbegrip van:

- Materiaalselectie: JGS1/JGS2 UV- of IR-kwaliteit gesmolten silica.

- Bewerkingen met hoge precisie: Nanoschaalpolijsten (λ/20), lasermicrostructurering (nauwkeurigheid ± 1 μm).

- Functionele coatings: AR (193-1064nm), lasercoatings met een hoge LIDT (> 5J/cm2).

- QA ondersteuning: Volledige inspectieverslagen (AOI, interferometrie).