3-inch optische kwaliteit kwarts wafer Transmissie >92% Halfgeleider glazen substraten
ZMSH is gespecialiseerd in op maat gemaakte 3-inch kwarts wafers, en biedt op maat gemaakte oplossingen voor geavanceerde opto-elektronische, MEMS- en halfgeleidertoepassingen. In tegenstelling tot standaard 2-inch wafers, bieden 3-inch kwarts wafers een groter oppervlak voor multi-component integratie, waardoor hoogprecisie-apparaten met verbeterde prestaties mogelijk worden. Belangrijkste kenmerken zijn:
· Materiaal: Hoogzuiver gesmolten silica (SiO₂) met <50 ppm hydroxylgehalte, wat zorgt voor ultra-laag optisch verlies.
· Afmetingen: Aangepaste diameters (3,00" ±0,02") en diktes (0,525–1,200 mm, TTV ≤10 μm).
· Vormen: Cirkelvormige, vierkante of onregelmatige geometrieën met niet-standaard openingen, getrapte randen of gradiëntdikte.
· Oppervlakteafwerking: Ultra-gladde oppervlakken (Ra ≤1,0 nm) voor minimale lichtverstrooiing.
Specificatie voor 3-inch kwarts wafer
| Parameter |
Specificatie |
| Diameter |
3 inch (76,2 mm) |
| Diktetolerantie |
±0,02 mm |
| Oppervlakte ruwheid |
≤1nm (Gepolijste kwaliteit) |
| Transmissie @193nm |
>92% |
| CTE (RT-300°C) |
0,55×10⁻⁶/°C |
| Paralleliteit |
≤5μm |
| Vacuümcompatibiliteit |
10⁻⁹ Torr |
Belangrijkste kenmerken van 3-inch kwarts wafer
1. Optische superioriteit
- Brede spectrale transmissie: >92% transmissie van 185 nm (UV) tot 3500 nm (IR), ideaal voor UV-lithografie en kwantumdetectie.
- Lage thermische uitzetting: CTE van 0,52×10⁻⁶/°C, behoud van dimensionale stabiliteit tot 1100°C.
2. Mechanische en chemische veerkracht
- Hoge hardheid: Mohs-schaal 7, bestand tegen slijtage en mechanische schokken.
- Zuurresistentie: 30× hogere duurzaamheid dan keramiek, geschikt voor agressieve chemische omgevingen.
3. Elektrische prestaties
- Isolatie: Weerstand >10¹⁸ Ω·cm, minimaliseert parasitaire capaciteit in hoogfrequente circuits.
- SAW-compatibiliteit: Geoptimaliseerd voor Surface Acoustic Wave (SAW)-filters met precieze snijhoeken (bijv. 34,33° voor FC-cut).
Strategische toepassingen van 3-inch kwarts wafer
1. Geavanceerde MEMS-apparaten
- Druksensoren, gyroscopen en inkjet-printkoppen die gebruikmaken van 3-inch wafers voor multi-layer integratie en thermische stabiliteit.
2. Opto-elektronische systemen
- UV-laserdiodes, glasvezelcollimatoren en LiDAR-componenten die optische paden met weinig verlies vereisen.
3. Halfgeleiderverpakking
- Wafer-level verpakking (WLP) substraten voor CMOS-beeldsensoren en RFIC's, die TSV (Through-Silicon Via)-technologie ondersteunen.
4. Kwantumtechnologieën
- Substraten voor diamantstikstof-vacature (NV)-centra en supergeleidende qubits, die profiteren van ultra-lage defectdichtheid.
Kwarts capillaire buizen: Kort overzicht
De kwartscapillairen van ZMSH zijn ontworpen voor microfluïdische en optische toepassingen, met:
- Aangepaste maten: Binnendiameters van 50 μm tot 5 mm, lengtes tot 300 mm.
- Ultra-hoge zuiverheid: <1 ppm metaalverontreinigingen voor biocompatibiliteit in lab-on-a-chip-systemen.
- Verwerking: Lasergravure, thermisch vormen en chemisch etsen voor naadloze integratie in sensoren of optische vezels.
FAQ
Uw bericht moet tussen de 20-3.000 tekens bevatten!
