Productdetails:
Betalen & Verzenden Algemene voorwaarden:
|
Diameter: | 3 inch (76,2 mm) | Dikte Tolerantie: | ±0,02 mm |
---|---|---|---|
Ruwheid van het oppervlak: | ≤1nm (Gepolijste kwaliteit) | Transmissiekracht @ 193 nm: | > 92% |
CTE (RT-300°C): | 0.55×10−6/°C | Applicaties: | Halfgeleiderfabricage, Krachtige lasers |
Markeren: | Hoogzuiver kwartssubstraat,3 inch kwartssubstraat,76.2 mm kwartssubstraat |
- Ik weet het niet.De 3-inch kwartswafer (76,2 mm) is een grootformaat, hoogzuiver gesmolten silica substraat speciaal ontworpen voor geavanceerde halfgeleiders, opto-elektronica,en optische toepassingen met een grotere verwerkingsplaats. In vergelijking met 2-inch wafers verbetert de 3-inch specificatie de productie-efficiëntie en vermindert het randverlies, waardoor het vooral geschikt is voor batchgefabriceerde MEMS-apparaten, geavanceerde fotomaskers,en laseroptische systemen.
ZMSH is gespecialiseerd in de op maat gemaakte productie van grootformaat kwartswafers en biedt:
· Volledige dekking:Van 2 inch tot 12 inch wafers, ondersteunt niet-standaard grootte aanpassing
• Complexe vormverwerking:met een gewicht van niet meer dan 30 g/m2
· Multifunctieve oppervlaktebehandeling:Eenzijdig/dubbelzijdig polijsten, coatings (AR/IR/DLC), microstructuur etsen
· Industrieoplossingen:Schoonheid op halfgeleiderniveau (klasse 100), laserboren, hoogprecise uitlijningsmarkeringen
Parometer | Specificatie |
Diameter | 3 inch (76,2 mm) |
Dikte Tolerantie | ±0,02 mm |
Ruwheid van het oppervlak | ≤ 1 nm (gepolijste kwaliteit) |
Transmissiekracht @ 193 nm | > 92% |
CTE (RT-300°C) | 0.55×10−6/°C |
Parallelisme | ≤ 5 μm |
Vacuümcompatibiliteit | 10−9 Torr |
- Grote homogeniteit: TTV≤15μm bij een diameter van 76,2 mm zorgt voor een gelijkmatige verwerking op grote oppervlakken
- Diep UV optimalisatie: >92% doorstraling bij 193 nm, ondersteunt ArF-lithografie en DUV-lasertoepassingen
- Thermische schokbestendigheid: thermische uitbreidingscoëfficiënt 0,55×10−6/°C, bestand tegen snelle temperatuurcyclussen (1000°C/min)
- Inertheid van chemische aard: Plasma-erosiebestendige, geschikt voor droog etsen en CMP-omgevingen
- Mechanische versterkingOptioneel chemisch versterken verhoogt de buigsterkte met 300% tot 500 MPa
Veld | Specifieke toepassingen |
Vervaardiging van halfgeleiders | Substraten voor fotomaskers van groot formaat, EUV-lithografie-optica, 3D-IC-interposers |
Lasers met een hoog vermogen | Laserresonatorspiegel, glaskappen voor glasvezellasers op kW-niveau, ultrasnelle lasersubstraten voor het comprimeren van pulsraten |
Quantumtechnologie | Qubit-dragerwafels, koud-atomschip vacuümkijkplekken |
Ruimtevaartuigen | Satelliet-optische laadruimten, stralingsbestendige sensorbeschermingsbedekkingen |
Biomedisch | Micro-fluïde chipmasters, DNA-sequencing-chipsubstraten, endoscoop lichtleiders |
ZMSH levert diensten voor het aanpassen van kwartsprisma's voor UV- tot IR-golflengten, met inbegrip van rechthoekprisma's, pentaprisma's en straalsplitterprisma's, met:
· Nauwkeurigheid van het oppervlak op nanometerniveau(λ/10@632.8nm)
· Speciale coatings(laserschadebestendige coatings, polariserende straalsplittercoatings)
· Geïntegreerde verwerking(hybride prisma-waferstructuren, microchannelkoelontwerpen)
Ideaal voor geavanceerde toepassingen op het gebied van laserstraalvorming, spectrale analyse en experimenten op het gebied van hoge-energiefysica- Dat is niet zo.
1. V: Wat zijn de voordelen van 3 inch kwartswafers ten opzichte van kleinere wafers?
A: 3-inch (76,2 mm) kwartswafels bieden 44% meer bruikbare oppervlakte dan 2-inch wafers, waardoor randverlies wordt verminderd en de doorvoer voor MEMS-productie- en optische coatingprocessen wordt verhoogd.
2. V: Hoe hanteren en opslaan we 3 inch gesmolten silica wafers correct?
A: Gebruik altijd waferdragers van cleanroomkwaliteit met randcontacthouders en bewaar ze in een omgeving van klasse 100 met < 40% humiditeit om oppervlakteverontreiniging en vochtopname te voorkomen.
Tag: #3 Inch Quartz Substrate, #Customized, #Fused Silica Plates, #SiO2 Crystal, #Quartz wafers, #JGS1/JGS2 Grade, #High-Purity, #Fused Silica Optical Components, #Quartz Glass Plate,#Custom-Shaped Doorholes , # 3 Inch Quartz Substraat, # 76.2mm Diameter
- Ik weet het niet.
Contactpersoon: Mr. Wang
Tel.: +8615801942596