Sapphire -liftpennen Sapphire staven Precisie Productie Industriële toepassingen Waferafhandeling

Sapphire Lift Pins Sapphire Rods Precision Manufacturing Industrial Applications Wafer Handling

ZMSH is gespecialiseerd in de productie van saffierkristallen, met een focus op de R & D, productie en verkoop van saffierkristallen.Safirhefspenen staan bekend om hun uitzonderlijke sterkteHet product is zeer goed voor het vervaardigen van hoogwaardige apparatuur en voor precisiebewerkingen.ZMSH biedt op maat gemaakte verwerkingsdiensten, die in staat is sapphirele liftpinnen in verschillende specificaties te ontwerpen en te produceren om aan de uiteenlopende industriële eisen te voldoen.

Technische specificatie

Kernfunctiesmet een gewicht van niet meer dan 50 kg

Saffirafters zijn essentiële onderdelen in apparatuur voor de productie van halfgeleiders en LED's, die voornamelijk worden gebruikt voor de overdracht en positionering van wafers.

1Waferondersteuning en verticale beweging

Bij dunne-film afzetting (bijv. MOCVD), etsen, of lithografie processen, robot armen activeren saffier lift pinnen om te verhogen van de kamer vloer, precies ondersteunen wafers (bijv.2/4/6-inch substraten) met behoud van een gelijkmatige positie om het laden en lossen te vergemakkelijken.

2. Stabiel functioneren bij hoge temperaturen

Saffira (eenkristallijn Al2O3) heeft een zeer hoog smeltpunt van 2050°C, waardoor een langdurige werking boven 1000°C mogelijk is (bijv.GaN-epitaxiale groei) zonder het risico van thermische vervorming of waferverontreiniging typisch voor metalen pinnen.

3Chemische inertheid voor procesintegriteit

Met uitzonderlijke weerstand tegen zuren, alkalis en plasma omgevingen, voorkomt saffier het vrijkomen van onzuiverheden tijdens etsen of CVD-processen,de zuiverheid van de productie te waarborgen (vooral cruciaal voor breedbandsemiconductoren zoals SiC/GaN).

Belangrijkste voordelen
 

1Ultralage verontreiniging: in vergelijking met alternatieven voor metaal (bijvoorbeeld molybdeen) of keramiek (bijvoorbeeld AlN) veroorzaakt saffier een minimale hoeveelheid deeltjesvergieten en voldoet het aan de cleanroom-normen van klasse 10.

2Uitzonderlijke hardheid (Mohs 9): de oppervlakte krabstoestand verlengt de levensduur van meer dan 100.000 cycli 5-8 keer langer dan kwartspinnen.

3. Gepaste thermische uitbreidingscoëfficiënt: nauwe uitlijning met SiC/GaN-wafers (~ 7,5×10−6/°C) minimaliseert door thermische spanning veroorzaakte vervorming of scheuren.

Typische toepassingenmet een gewicht van niet meer dan 50 kg

1. LED-epitaxiale waferproductie: ondersteunt saffiersubstraten tijdens GaN-epitaxiale groei in MOCVD-reactoren.

2. Vervaardiging van krachtige halfgeleiders: maakt het mogelijk om ionen bij hoge temperaturen te implanteren of te gloeien voor SiC-wafers.

3Geavanceerde verpakking: zorgt voor een microniveau-precise positionering van ultradunne wafers (dikte < 100 μm) in wafer-level verpakkingen (WLP).

Verwante producten

ZMSH is gespecialiseerd in hoogwaardige saffierstaven, ontworpen voor superieure sterkte, thermische stabiliteit en corrosiebestendigheid.We bieden precisiebewerking aan om aan de exacte specificaties te voldoen.