Productdetails
Place of Origin: CHINA
Merknaam: ZMSH
Certificering: rohs
Model Number: Silicon carbide ceramic chuck
Betalings- en verzendvoorwaarden
Prijs: by case
Payment Terms: T/T
Item:: |
Silicon carbide ceramic chuck |
Thermal Stability:: |
High Temperature Stability |
Type:: |
Ceramic Plate |
Max Use:: |
1800 ºC |
Tolerance:: |
±0.001 mm or Custom |
Size:: |
Customized |
Specification:: |
Customize |
Usage:: |
Photoelectric Lighting, Semiconductor |
Item:: |
Silicon carbide ceramic chuck |
Thermal Stability:: |
High Temperature Stability |
Type:: |
Ceramic Plate |
Max Use:: |
1800 ºC |
Tolerance:: |
±0.001 mm or Custom |
Size:: |
Customized |
Specification:: |
Customize |
Usage:: |
Photoelectric Lighting, Semiconductor |
Productoverzicht
Siliciumcarbide-keramische chuck/tray is een hoogwaardig apparaat dat wordt gebruikt op het gebied van halfgeleiders, LED's, fotovoltaïsche installaties en andere precisieproducties, voornamelijk voor het bevestigen en dragen van wafers.saffirafelsubstratenHet kernmateriaal is siliciumcarbide (SiC), dat door precisiebewerking wordt vervaardigd en uitstekende fysische en chemische eigenschappen heeft.en kan voldoen aan de verwerkingsbehoeften van hoge precisie en hoge stabiliteit.
Productparameter
| (Materiële eigendom) | (eenheid) | Ik heb het nodig. | |
| (SiC-gehalte) | (Wt) % | > 99 | |
| (gemiddelde korrelgrootte) | micron | 4 tot 10 | |
| (Dichtheid) | in kg/dm3 | > 3.14 | |
| (Schijnbare porositeit) | Vo1% | < 0.5 | |
| (Vickers hardheid) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *() Buigkracht* (drie punten) |
20oC | MPa | 450 |
| (Kompressievermogen) | 20oC | MPa | 3900 |
| (Elastische module) | 20oC | GPa | 420 |
| (Fracturele taaiheid) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (thermische geleidbaarheid) | 20°oC | W/m*K | 160 |
| (Resistentie) | 20°oC | Ohm.cm | 106 tot en met 108 |
(thermische uitbreidingscoëfficiënt) |
a(RT**...80oC) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Maximale werktemperatuur) |
ooC | 1700 | |
Productkenmerken
1.Ultra hoge hardheid en slijtvastheid: siliciumcarbide hardheid dicht bij diamant, uitstekende slijtvastheid, kan langdurig hoge sterkte verwerking weerstaan, aanzienlijk verlengen van de levensduur.
2Uitstekende thermische beheersprestaties: high thermal conductivity and low thermal expansion coefficient to ensure rapid heat dissipation in high temperature environments and maintain dimensional stability to avoid deformation caused by thermal stress.
3. Uitstekende chemische stabiliteit: sterke corrosiebestendigheid, bestand tegen zuren, alkalis en verschillende chemische oplosmiddelen, geschikt voor ruwe procesomgevingen.
4. Hoge vlakheid en oppervlakteafwerking: na precisiebewerking is de oppervlakte vlakheid tot microniveau, wat zorgt voor hoge precisie en lage vervuiling tijdens de verwerking.
Toepassing van het product
In de productie van halfgeleiders kan siliciumcarbide keramische chuck worden gebruikt voor het snijden van wafers, polijsten, lithografie en andere belangrijke processen om een hoge precisie te garanderen.Als dragerplatform voor de verwerking van saffiersubstraat bij de productie van LED's, ondersteunt het snijden, slijpen en de epitaxiale groei.
Bovendien worden keramische chucks van siliciumcarbide gebruikt als bakken in hoogtemperatuurapparatuur zoals CVD en PVD,met behulp van hoogtemperatuurprocessen om extreme omgevingen te weerstaan en de stabiliteit te behoudenIn de fotovoltaïsche industrie wordt het gebruikt voor het snijden van siliciumwafers en de productie van dunne film zonnecellen om de verwerkingsefficiëntie en de opbrengst te verbeteren.
Productenvertoning
Vragen en antwoorden
1.V: Wat is siliconcarbide keramische chuck?
A: Siliciumcarbide-keramische schalen zijn een hoogwaardige armature voor de vervaardiging van halfgeleiders, LED's en fotovoltaïsche apparatuur, voornamelijk gebruikt voor het vasthouden en vervoeren van wafers, saffiersubstraten en andere materialen,met een hoge hardheid, hoge thermische geleidbaarheid en uitstekende chemische stabiliteit.
2.V: Wat zijn de belangrijkste voordelen van siliconcarbide keramische chuck?
A: De belangrijkste voordelen van keramische chucks van siliciumcarbide zijn hoge slijtvastheid, uitstekende thermische beheersprestaties, hoge vlakheid en corrosiebestendigheid,die kan voldoen aan de behoeften van hoge-precisie bewerking en hoge-temperatuur processen.
Tag: #SIC, #siliconcarbide keramische chuck, #keramisch element, #vacuumsupper aanpassing, #hoge precisie
Video
