Wat is een kwarts focus ring?




Een kwartsfocusring is een kritisch verbruiksbestanddeel in halfgeleiderplasma-etsenprocessen.Het is meestal gemaakt van hoogzuiver gesmolten kwarts en speelt een onmisbare rol in de productie van chipsDe kernfunctie ervan is het plasma te beperken en te leiden om een zeer uniforme etserend vermogen over het oppervlak van de wafer te garanderen.


 

Kernfuncties: Waarom is het onontbeerlijk voor etseringsprocessen?

Tijdens het plasmagraven verrichten kwartsfocusringen hoofdzakelijk de volgende belangrijke taken:

• Plasmafocus voor eenvormig etsenDoor een speciaal ontwerp houdt het plasma stabiel en gelijkmatig, zelfs aan de rand van de wafer.het elimineert het "rand effect" en zorgt voor zeer consistente etch rates en kritische afmetingen (CD) over het gehele waferoppervlak.
   
• Bescherming van hoogwaardige apparatuur en verlenging van de levensduur van onderdelen: De scherpstelring fungeert als verbruikbaar beschermend schild dat direct plasma bombardement draagt en de onderliggende kernprecisiecomponenten zoals de elektrostatische chuck (ESC) beschermt tegen schade.
   
• Voorkoming van verontreiniging en bescherming van de waferopbrengst: Kwarts zelf bevat geen schadelijke onzuiverheden zoals metalen en geeft onder blootstelling aan plasma langzaam zuurstof af.Deze zuurstof reageert met polymeren die tijdens het etsen worden gegenereerd om gemakkelijk te pompen gassen zoals CO en CO2 te vormen, waardoor besmetting aan de achterkant van de wafer effectief wordt voorkomen.

Jingge Semiconductor ¢ Aanpassing van hoogzuivere kwartsapparaten (5N, 6N zuiverheid), met inbegrip van synthetisch kwarts, gasgesmolten kwarts, elektrisch gesmolten kwarts, kwartsonderdelen, kwartsetsen,met een diameter van niet meer dan 20 mm, kwartswafels, optische kwartsplaten, enz. Tel: 17826693981.



Een analyse van de materiële voordelen
 

Er zijn meerdere materiaalopties voor focusringen, maar kwarts onderscheidt zich door zijn unieke combinatie van eigenschappen:

• Ultrahoge zuiverheid: Kwarts van halfgeleiderkwaliteit bereikt meestal een zuiverheid van 99,998% of hoger, waardoor de verontreiniging van wafers met metaalverontreinigingen tot een minimum wordt beperkt.
• Superieure chemische corrosiebestendigheid: Kwarts is bestand tegen erosie door zeer corrosieve etseringsgassen (zoals CF4, SF6 en Cl2) en aanvallen door plasma.
• Uitstekende thermische stabiliteit: Kwarts kan temperaturen van meer dan 1000°C weerstaan en heeft een extreem lage koëfficiënt van thermische uitbreiding, waardoor een precieze dimensionale stabiliteit wordt gewaarborgd tijdens processen bij hoge temperaturen.
• Gunstig dielektrische eigenschappen: De dielectrische constante (ongeveer 3,8) ondersteunt de gewenste plasmafocusprestaties
  
  
  
  Vervaardiging en markt: Precision Machining en wereldwijde levering
  
  
   
• Bewerkingen met behulp van precisiemateriaal: De productie van kwartsfocusringen vraagt om een zeer hoge nauwkeurigheid en vereist geavanceerde 5-assige CNC-bewerkings- en polijtechnologieën.Sleuteldimensionale toleranties kunnen binnen ±0 worden gecontroleerd.02 mm of zelfs ±0,001 mm, met een oppervlakkrapheid (Ra) van minder dan 0,002 μm.
• Belangrijkste fabrikanten: Belangrijke spelers op de wereldmarkt zijn internationale leiders zoals Entegris, CoorsTek, Heraeus Quartz en Tosoh Quartz, evenals Chinese ondernemingen zoals Dunyuan Juxin,Zhenbao Technology en Jingge SemiconductorDe producten zijn over het algemeen compatibel met de reguliere etseringsplatformen van Applied Materials (AMAT), zoals de MXP+- en Centura-reeksen.