Verbinding tussen waferplatte en inkeping
Waferplatte en notch zijn belangrijke kenmerken die worden gebruikt om de oriëntatie van de wafer tijdens de waferproductie te bepalen, en ze spelen een cruciale rol bij de verwerking, uitlijning en inspectie van de wafer.
1Wafers plat
platte wafer verwijst naar het vlakke deel van de buitenste rand van de wafer,die wordt gebruikt om de specifieke richting van de wafer te markeren en ervoor te zorgen dat de wafer tijdens de verwerking en verwijdering van de wafer correct kan worden uitgelijndZie het als een kompas die helpt bij het juiste plaatsen van wafers in het apparaat.
Functie en effect:
Richtingsindicatie: De positioneringsrand toont meestal de specifieke kristallen richting van de wafer.de positioneringsrand kan helpen om de belangrijkste oriëntatie te gevenDit komt omdat siliciumkristallen met verschillende kristallenoriëntatie verschillen in fysieke en elektrische eigenschappen.en de rol van de wafer positionering rand is om ervoor te zorgen dat de kristal oriëntatie correct wordt geïdentificeerd tijdens de wafer verwerking.
Aligneringsmerk: bij de productie van wafers moeten meerdere stappen worden uitgevoerd, zoals lithografische uitlijning, etsering, enz.De positioneringsrand is als een coördinaten-identificator op een kaart om het apparaat te helpen de waferpositie in lijn te brengen en de precisie van de verwerking te garanderen.
Voorbeeld analogie: de positioneringsrand van een wafer kan worden vergeleken met de indicatorlijnen in een puzzel, die ons vertellen hoe we de verschillende onderdelen correct moeten assembleren.Misschien kunnen we de puzzel niet goed oplossen..
2Wafer Notch.
Een waferkorf is een kleine snee of notch in de buitenste rand van een wafer.Maar de vorm en functie zijn anders.Meestal is de notch een fysieke notch, terwijl de positioneringsrand plat is.
Functie en effect:
Precieze positionering: Notch wordt vaak gebruikt om nauwkeurigere richting te geven, vooral in grotere wafers zoals 300mm wafers.de productieapparatuur kan de oriëntatie van de wafer gemakkelijker identificeren, waardoor lichte bewegingen van de wafer of rotatie van de wafer aanleiding geven tot fout in de uitlijning.
Vermijd lijnfouten: de inkepen dienen als markeringen die de automatiseringsapparatuur helpen de wafer gedurende het hele proces stabieler georiënteerd te houden.
Voorbeeld analogie: je kunt de inkeping vergelijken met de kleppositie van een autoband, hoewel dit de rotatie van de band niet beïnvloedt,maar het is een belangrijk punt van de positionering van de band om ervoor te zorgen dat de band nauwkeurig kan worden geïnstalleerd.
3. verbinding tussen waferplatte en inkeping
De platen en inkeringen van de wafer zijn tijdens de fabricage van de wafer complementair aan elkaar.Terwijl de inkeringen een fysieke marker voor verdere precieze positioneringBeide zijn aanwezig in de meeste toepassingen, met name in grote wafers (zoals wafers van 300 mm).
Samenwerkende rol in de waferverwerking:
De platte helpt bij het bepalen van de algemene oriëntatie van de wafer en zorgt voor de eerste uitlijning van de wafer;De inkeping biedt verder een fysiek kenmerk dat het apparaat helpt om de oriëntatie nauwkeuriger te identificeren, waardoor de nauwkeurigheid gedurende het gehele productieproces wordt gewaarborgd.
4- Opmerkelijke punten in praktische toepassingen
In het geval van een fout in de plaatsing van deze elementen, wordt het gebruik van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting van de afmeting.het kan ervoor zorgen dat de elektrische eigenschappen van de hele wafer onstabiel zijnDaarom is het in het productieproces erg belangrijk om de nauwkeurigheid van deze kenmerken te waarborgen.
Verschillen in markeermethoden: Verschillende waferleveranciers kunnen verschillende markeermethoden gebruiken, bijvoorbeeld sommige wafers kunnen alleen plat en geen inkeping hebben; sommige kunnen een inkeping aan het vlak toevoegen.Bij het ontwerpen van deze merken, moet rekening worden gehouden met de verenigbaarheid van de apparatuur en de eisen van het productieproces.
5Conclusies
Wafervlakken en inkeringen zijn in uiterlijk verschillend, maar samen spelen ze een belangrijke rol bij het markeren van de oriëntatie van de wafer en het waarborgen van de accuraatheid van de uitlijning.ons helpt de algemene richting te bepalenDe notch is een nauwkeuriger fysiek kenmerk, dat helpt bij het garanderen van de consistentie van de richting tijdens de fabricage.met name bij de productie van grote wafers, die een meer cruciale rol speelt.
ZMSH-gerelateerde producten:
Bedankt voor het kijken.
