Deze apparatuur maakt het nauwkeurig dunner maken mogelijk van 4"-12" broze halfgeleidermaterialen, waaronder silicium (Si), siliciumcarbide (SiC), galliumarsenide (GaAs) en saffiersubstraten,met een nauwkeurigheid van ± 1 μm voor de diktebeheersing en een totale diktevariatie (TTV) van ≤ 2 μm om te voldoen aan de strenge eisen van geavanceerde verpakkingen en de fabricage van krachtoestellen.
Memorandum: Ontdek het Wafer Thinning System Precision Thinning Equipment, compatibel met 4-12 inch SiC, Si, GaAs en saffier wafers.Het bereiken van ±1 μm diktecontrole en ≤2 μm TTV voor geavanceerde verpakkings- en vermogenstoestellenGeoptimaliseerd voor breedband halfgeleiders zoals SiC.
Gerelateerde Productkenmerken:
Precisie verdunning voor 4-12 inch brosse halfgeleidermaterialen, waaronder Si, SiC, GaAs en saffier.
Bereikt een diktecontrole-nauwkeurigheid van ±1 μm en TTV ≤2 μm.
Geoptimaliseerde slijpparameters en polijstprocessen voor diverse materiaal eigenschappen.
Geïntegreerde geautomatiseerde real-time diktemeting voor stabiele prestaties.
Aanpasbare vacuümschokoplossingen voor onregelmatige producten.
Zeer nauwkeurig slijpen van spindels in de machine met superieure bewerkingsnauwkeurigheid.
Gebruikersvriendelijke bediening met ergonomische HMI en nauwkeurige Z-asbesturing.
Ondersteunt volledige automatische en semi-automatische bewerkingsmodus met realtime dikte meting.
FAQS:
Ondersteunt de apparatuur voor het dunner maken van wafers maatwerk?
Ja, we bieden volledig op maat gemaakte oplossingen, inclusief speciale klauwplaten voor onregelmatige wafers en op maat gemaakte procesreceptontwikkeling.
Welke nauwkeurigheid van de diktecontrole kunnen waferverdunningsmachines bereiken?
Premiummodellen bereiken een uniformiteit van ± 0,5 μm dikte met TTV≤1 μm (laserinterferometrie diktebewakingssysteem).
Welke materialen zijn compatibel met het Wafer Thinning Systeem?
Het systeem is compatibel met 4-12 inch broze halfgeleidermaterialen, waaronder silicium (Si), siliciumcarbide (SiC), galliumarsenide (GaAs) en saffiersubstraten.